前期工程配套：半導體潔淨室相關廠商梳理

（來源：伏白的交易筆記）

一. 潔淨室概覽

潔淨室是專為半導體制造設計的受控環境空間，通過精密過濾、温濕度調節、氣流管理等技術，將空氣中的微塵、微生物、分子污染物等控制在極低水平。

1.1 核心目標

為半導體制造提供零污染、高精度、高穩定性的生產環境，確保芯片良率和性能：

（1）污染物控制：防止塵埃、金屬離子、微生物等污染晶圓表面，影響芯片電路性能。

（2）環境參數穩定：精確控制温度、濕度、氣壓、微振動、靜電等參數，滿足光刻、刻蝕等精密工藝需求。

1.2 分類及應用場景

（1）按單位體積空氣中顆粒物數量劃分

ISO 14644-1標準分為9個等級，如ISO 1級（光刻、蝕刻）、ISO 3級（離子注入、化學氣相沉積）、ISO 6級（封裝測試）。

（2）按氣流組織劃分

單向流（垂直或水平氣流覆蓋全室，適用於ISO 1-5級，確保污染物快速排出）、非單向流（適用於封裝測試、物料區）。

1.3 主要組成

（1）空氣過濾系統：HEPA/ULPA過濾器去除微粒，化學過濾器吸附氣態污染物。

（2）環境控制系統（HVAC）：調節温濕度、氣壓等，通過循環風維持潔淨度。

（3）風機過濾單元（FFU）：天花板覆蓋式設計，提供單向流潔淨空氣。

（4）潔淨門/傳遞窗：人員和物料進出時進行淨化，去除表面顆粒。

（5）圍護結構：採用高密封性、不產塵、防靜電材料建造，包括防靜電地板/牆板等。

二. 國內頭部供應商

亞翔集成：提供半導體潔淨室全流程解決方案，客户包括中芯國際、長J存儲、三星。

聖暉集成：主營半導體、生物醫藥潔淨室工程，客户包括英諾賽科、中芯國際、華虹半導體。

柏誠股份：主營半導體、面板、生物醫藥潔淨室系統，客户包括臺積電、京東方、長X存儲。