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新突破!英飛凌今年第四季度將提供12英寸GaN

2025-07-04 11:05

(轉自:第三代半導體產業)

英飛凌300mm GaN技術

從8英寸到12英寸:突破規模瓶頸

英飛凌此次12英寸GaN晶圓的開發,是在奧地利Villach功率工廠現有的大批量12英寸硅基製造基礎設施上完成的。早在2024年9月,公司已完成了首片12英寸GaN晶圓的製造,並在一條集成試驗線上實現了產線驗證。英飛凌率先開發全球首項300mm氮化鎵功率半導體技術

相較於8英寸(200mm)晶圓,12英寸(300mm)晶圓芯片生產不僅在技術上更先進,也因為晶圓直徑的擴大,每片晶圓上的芯片數量增加了2.3倍,效率也顯著提高,顯著降低單顆成本。

300mm氮化鎵(GaN)功率半導體晶圓

英飛凌科技首席執行官Jochen Hanebeck表示:「這項重大成功是英飛凌的創新實力和全球團隊努力工作的結果,進一步展現了我們在GaN和功率系統領域創新領導者的地位。這一技術突破將推動行業變革,使我們能夠充分挖掘GaN的潛力。在收購GaN Systems近一年后,我們再次展現了在快速增長的GaN市場成為領導者的決心。作為功率系統領域的領導者,英飛凌掌握了全部三種相關材料,即:硅、碳化硅和氮化鎵。」

製造難點與技術路徑:緩衝層是關鍵

GaN-on-Si工藝面臨的主要技術挑戰在於晶格失配和熱失配問題。由於GaN與硅的晶格常數差異較大,必須通過沉積厚緩衝層來緩解應力,從而保障外延層的結構完整性和晶圓的平整度。

目前行業內:

6英寸仍為主流生產尺寸

8英寸僅有包括英諾賽科在內的少數企業實現量產

12英寸平臺則因外延工藝複雜性與高良率難度而更具挑戰性。

不過,英飛凌此前已在硅平臺上取得超薄功率晶圓(20μm)技術突破,該成果為12英寸GaN平臺的后續拓展提供了製造工藝基礎與理論支持。

戰略願景:加速成本平價,擴大客户覆蓋

英飛凌GaN業務線負責人 Johannes Schoiswohl 表示:

英飛凌全面擴大的300mm GaN生產規模將幫助我們更快地為客户提供更高價值的產品,同時推動實現Si和GaN同類產品的成本持平。在英飛凌宣佈突破300mm GaN晶圓技術近一年后,我們很高興看到我們的過渡進程進展順利,並且業界已經認識到英飛凌GaN技術在我們的IDM戰略優勢下所發揮的重要作用。

根據英飛凌的路線圖,12英寸GaN產品將覆蓋100V–650V全電壓等級,面向數據中心、電動汽車、5G、工業自動化和消費電子等多個高增長領域

英飛凌已在其位於奧地利菲拉赫(Villach)的功率半導體晶圓廠中,利用現有300mm硅生產設備的整合試產線,成功地生產出300mm GaN晶圓。英飛凌正通過現有的300mm硅和200mm GaN的成熟產能發揮其優勢,同時還將根據市場需求進一步擴大GaN產能。

此外,英飛凌正計劃逐步擴大客户羣體,並將其12英寸GaN平臺與現有的CoolGaN產品線實現互補,加快實現標準化、規模化生產。

行業影響與趨勢判斷

在當前全球功率半導體產業加速向寬禁帶材料轉型的背景下,GaN晶圓從6英寸向8英寸、再到12英寸過渡,是必然趨勢其中,12英寸的推進不僅有助於攤薄製造成本,還將提升封裝效率、功率密度和熱管理性能,滿足AI、EV等高功率場景的需求。

不過,考慮到大尺寸GaN外延的高成本、高難度,目前能推進至12英寸量產階段的企業仍屬鳳毛麟角英飛凌憑藉其強大的功率器件製造平臺與先進的晶圓級工藝能力,或將在未來2–3年內引領12英寸GaN晶圓標準化進程。

市場分析師預測,到2030年,GaN在功率應用領域的收入將以每年36%的速度增長,達到約25億美元。英飛凌擁有專門的生產能力和強大的產品組合,去年發佈了40多款新型GaN產品,這使其成為尋求高質量GaN解決方案客户的首選合作伙伴。

英飛凌此次宣佈12英寸GaN平臺進入樣品準備階段,是繼其CoolGaN產品成功商業化后的又一關鍵里程碑這一進展不僅代表其製造平臺的橫向擴展能力,也意味着GaN器件在高功率、高效率市場的滲透將進一步提速

隨着英飛凌、納微半導體(Navitas)、英諾賽科、意法半導體等企業相繼佈局8英寸及以上GaN平臺,下一階段GaN技術的競爭焦點將轉向「良率、成本與規模」的綜合比拼

來源:英飛凌官網、半導體要聞、半導體信息等,僅供參考!

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