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2017-08-29 15:00
MEMS传感器,全称叫微电子机械系统(Microelectro Mechanical Systems),是将微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路,接口、通信和电源等采用半导体工艺集中到一体的微型器件或系统。其实质可以理解为半导体技术对传统机械加工的一种工艺升级。所以,MEMS传感器行业的核心就在于工艺技术。
MEMS传感器有很多优点:
1)普通传感器的机械特征非常明显,外形各异,而MEMS外形基本一致,类似于芯片的封装,适于低成本批量化生产;
2)普通传感器尺寸很大,而MEMS尺寸很小,为毫米量级甚至更小,重量从微克到几十克,相应功耗也非常低;
3)响应时间(响应时间是传感器灵敏性的指标)更短;
4)利于集成,MEMS传感器的输出直接可以用来控制后续电路。
下游应用
MEMS传感器应用的三大领域:汽车领域,消费电子领域,医疗领域。就传感器类型来说,加速度计和陀螺仪市场进入成熟期,但MEMS麦克风以及新型传感器比如体声波滤波器(BAW)等将保持两位数的年复合增长率。
除了目前大家已经比较熟悉的计步器,心率监控,指纹识别传感器等,下面再介绍一些比较不常见的传感器或新应用场景:
陀螺仪:举起手腕准备看表时,屏幕自动亮起,用的就是这种了;
光传感器:苹果最新推出的为人诟病的耳机也采取了光敏元件,通过自动检测耳机是否入耳来控制播放;红外人脸识别,能解决夜间拍照的问题;红外追踪传感器,追踪眼球移动;
环境感知传感器:自动驾驶技术的基础
血氧传感器:测量血氧值,对于准确的脉搏率检测至关重要。
皮肤电导传感器:计算用户的排汗量
生物传感器:传感器包含抗体、抗原或酶等生物活性材料,与待测物质接触后发生生物反应并产生信息。