Qnity Electronics（Q）引入KLA下一代晶圓檢測系統 部署高端光刻材料研發與量產

金吾財訊 | Qnity Electronics（Q）宣佈，在其位於馬薩諸塞州馬爾堡的新英格蘭製造與技術中心成功安裝了由科磊（KLAC）提供的Surfscan®SP7XP無圖形晶圓缺陷檢測系統。此舉旨在深化公司在半導體先進工藝節點上的研發與製造能力，加速高端光刻材料的創新迭代。

據介紹，此次設備部署將重點支持Qnity核心光刻材料產品的研發與穩定量產，包括用於深紫外（ArF）光刻的Epic®光刻膠系列、用於極紫外（EUV）光刻的Eon®光刻膠系列以及關鍵的底層配套材料。

Qnity半導體技術副總裁Julia Woertink指出，掌控全流程的質量與性能細節是突破先進節點材料瓶頸的基礎。隨着人工智能（AI）、高性能計算（HPC）及先進連接技術對芯片性能提出更高要求，Qnity將繼續加大材料與集成技術的戰略投資，鞏固其在全球半導體供應鏈中的競爭力。