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2026-08-12 16:05
在PCB鑽針領域,全球PCB鑽針市場主要系硬質合金鑽針,公司較早開發金剛石微鑽(俗稱鑽針)拓展此領域,已與多家PCB廠商進行持續優化及驗證工作,已經取得很多突破性進展。
面向半導體晶圓應用的複合襯底解決方案,通過CVD技術在硅、碳化硅或硅基PCD晶圓表面沉積金剛石層,兼具硅、碳化硅或硅基PCD的半導體兼容性與金剛石材料的高熱導性。
公司依靠自主研發的大腔室熱絲CVD設備,成功研發出高平整度的硅、碳化硅或硅基PCD基金剛石襯底,最 大尺寸320mm*320mm,兼容直徑50mm-300mm的主流晶圓尺寸;金剛石膜厚可調,總厚度偏差(TTV)小於20μm。目前已向中國臺灣等地的客户交付部分產品,並積極配合客户要求進行產品的開發工作,整體進展在快速推進中。
公司依靠自主研發及合作開發的MPCVD設備,已能成功製備直徑100mm以內的硅基、碳化硅基和硅基PCD基的複合CVD金剛石襯底,並在精密加工后向部分客户交付驗證,已經取得較好的驗證結果。
通過微波、熱絲、直流等CVD技術製備單晶/多晶金剛石熱沉片,憑藉高熱導率與電絕緣特性,可高效降低器件熱點温度並導出熱量。