阿斯麥與荷蘭應用科學研究組織TNO合作推進光子芯片量產

阿斯麥（ASML）與荷蘭應用科學研究組織（TNO）宣佈達成合作，共同開發並推動光子芯片產業化。雙方合作將圍繞TNO位於荷蘭埃因霍温高科技園區正在建設的光子芯片試驗生產線展開。ASML將分階段提供包括DUV和I-Line光刻設備在內的製造技術支持。項目投產后，該工廠將具備6英寸晶圓規模的磷化銦（InP）光子芯片量產能力。