中微公司申請MOCVD設備相關專利，採集拼接圖像判斷自轉，統一基片成膜速率

6月23日消息，國家知識產權局信息顯示，中微半導體設備（上海）股份有限公司申請一項名為「一種MOCVD設備及衞星盤自轉測量方法」的專利。申請公佈號為CN122235676A，申請號為CN202411867389.X，申請公佈日期為2026年6月19日，申請日期為2024年12月17日，發明人李肖辰、郭春磊，專利代理機構上海元好知識產權代理有限公司，專利代理師湯恩洋、張靜潔，分類號C23C16/18、G01P3/38、C23C16/52、C23C16/458。

專利摘要顯示，本發明公開了一種MOCVD設備及衞星盤自轉測量方法，MOCVD設備包括內設有行星盤反應腔、圖像採集裝置、圖像採集控制模塊和圖像處理模塊，行星盤上設有衞星盤，衞星盤上設有至少一個標記；圖像採集裝置用於採集標記上的局部圖像；圖像採集控制模塊控制圖像採集裝置採集圖像；圖像處理模塊接收圖像採集裝置連續採集的多幀局部圖像並拼接為連續圖像以判斷衞星盤的自轉狀態。本發明的MOCVD設備及衞星盤自轉測量方法，通過設置圖像採集裝置連續採集局部圖像，並對局部圖像進行拼接以判斷行星盤是否自轉，並針對各行星盤的自轉情況進行調整，實現對各行星盤自轉速率的調整，使得各行星盤上承載的基片的自轉速率的統一，提高各基片成膜的均一性。

天眼查數據顯示，中微半導體設備（上海）股份有限公司成立日期2004年5月31日，法定代表人尹志堯，所屬行業為專用設備製造業，企業規模為大型，註冊資本62614.5307萬人民幣，實繳資本62691.781萬人民幣，註冊地址為上海市浦東新區金橋出口加工區（南區）泰華路188號。中微半導體設備（上海）股份有限公司共對外投資了30家企業，參與招投標項目87次，財產線索方面有商標信息114條，專利信息1708條，擁有行政許可88個。

中微半導體設備（上海）股份有限公司近期專利情況如下：

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責任編輯：小浪快報