ACN研究中心將其首個等離子體增強化學蒸氣沉積碳氮硅系統運送給未公開的半導體生產商

ACM研究公司（「ACN」）（納斯達克：ACMR）是半導體和先進封裝應用的領先芯片和麪板處理解決方案供應商，今天宣佈已向一家領先的半導體制造商交付了其首個等離子體增強化學蒸氣沉積（BEP）碳氮硅（SiCN）系統。作為ASM Planetary系列Saturn系列的最新成員，該系統符合ASM林根實驗室客户定義的工藝規範，並已運至客户現場進行驗證。該系統旨在滿足先進的后臺（BAOL）要求，還使ASM能夠服務於先進包裝應用中不斷增長的機會。