普達特科技(00650)：成功向客户交付一臺12英寸高温硫酸清洗設備

普達特科技(00650)發佈公告，公司已成功向客户交付一臺12英寸高温硫酸清洗設備。該設備廣泛應用於28/14/7nm等先進製程的關鍵清洗工藝，市場目前主要由海外設備供應商壟斷。公司研發的該設備，經過前期測試驗證，在技術性能方面均達到對標海外設備，且具備國內領先、國際一流的高温控制能力，可覆蓋至190℃的高温硫酸清洗工藝。同時，該設備具備集成化與兼容性設計，並採用靈活的應用配置，可為客户提供更具綜合競爭力的解決方案。

此外，公司近期已成功向4家客户交付5台單片晶圓清洗設備，包括：向一家12英寸晶圓代工廠客户，成功交付一臺OCTOPUS設備，用於28nm製程的關鍵清洗道次;向一家12英寸高性能模擬與功率器件客户，成功交付一臺OCTOPUS設備與一臺CUBE設備等。上述成功交付的訂單中，有兩臺設備訂單為來自現有客户的重複訂單。公司亦獲得一臺OCTOPUS設備重複訂單，該設備即將進行交付。上述訂單的收入均暫未確認。

未來，公司將繼續致力於完成該等半導體清洗設備的訂單交付與驗收，並充分發揮公司技術團隊在半導體濕法技術方面的優勢，繼續擴大高質量半導體客户在關鍵應用領域對公司設備的採用。