知情人士稱英特爾曾測試過源自芯片製造工具

　　兩名直接知情人士透露，芯片製造商英特爾今年曾測試過一家深耕中國市場、且有兩家海外子公司遭美國製裁的工具廠商所生產的芯片製造工具。

　　今年 8 月，英特爾首席執行官曾因被指與中國存在關聯而面臨特朗普總統要求其辭職的壓力，而此次英特爾所用的工具來自美國加利福尼亞州弗里蒙特市的芯片製造設備生產商盛美半導體（ACM Research）。盛美半導體位於上海和韓國的兩家子公司，去年因被指協助中國政府將商用技術用於軍事用途、並參與先進芯片或芯片製造工具的研發，被列入美國技術出口限止步清單，無法獲取美國技術。對此，盛美半導體予以否認。

　　此次測試的是兩臺濕法刻蝕工具，這類工具用於去除硅晶圓上的材料，進而將硅晶圓加工為半導體芯片。它們被用於英特爾最先進的 14A 芯片製造工藝的可行性測試，該工藝計劃於 2027 年初步投產。

　　目前美國部分對華強硬派人士指出，英特爾作為一家有美國政府參股的企業，卻考慮將受制裁企業的工具納入其最先進的生產線，這引發了重大國家安全擔憂。他們擔心英特爾的敏感技術知識可能流向中國、西方可靠工具供應商會被涉華企業取代，甚至存在被中方蓄意破壞的潛在風險。

　　據 TechInsights 公司副主席丹・哈奇森介紹，盛美半導體等中國廠商的工具，相比應用材料、泛林集團等競爭對手的產品，價格要低 20% 至 30%，這會對老牌廠商形成降價壓力，對英特爾而言意味着更低的設備採購成本。

　　目前暫無明確公開信息説明具體動因，不過從行業邏輯來看，一方面是中國工具廠商具備價格優勢，另一方面英特爾或希望通過測試多元化的設備供應商，保障其先進製程（14A）的生產供應穩定性，同時也可能是爲了評估非傳統供應商設備的技術性能是否能滿足其高端製造需求。

　　盛美半導體 1998 年由王暉創立，其本人目前仍擔任首席執行官且持有超 57% 的投票權，同時擁有美國國籍和中國永久居留權。公司雖總部位於美國加州，但 2006 年就在上海設立研發中心，目前在上海張江高科技園區已具備完整的研發、工程和製造能力，其大部分研發工作也在中國開展。

　　路透社無法確認英特爾是否已決定將這些工具用於先進芯片製造流程，也無證據表明該公司違反了美國相關法規。盛美半導體表示，無法就 「具體客户合作事宜」 置評，但可證實 「美國團隊已將其亞洲業務的多臺設備銷售並交付給美國本土客户」，同時還披露曾向一家 「美國大型半導體制造商」 交付三臺工具，這些工具正處於測試階段，部分已達到性能標準。

　　美國前總統拜登時期的白宮國家安全委員會官員、美國外交關係協會高級研究員克里斯・麥圭爾在迴應路透社的調查結果時稱，英特爾測試盛美半導體工具的行為 「凸顯了美國技術保護政策存在嚴重漏洞，絕不應該被允許」。他還補充道：「中國產工具極易被中方遠程或物理操控，從而削弱甚至中斷美國芯片生產。美國企業絕不應參與助力中國提升芯片製造工具水平的進程，因為這類工具是所有先進技術發展的基石。」

　　盛美半導體則表示自身不構成國家安全威脅，稱其美國業務與受制裁的上海子公司 「相互獨立、完全隔離」，美國客户由美國本土人員直接提供支持，且有完善的保障措施保護客户商業機密。

　　中國駐美國大使館未針對性迴應對華強硬派的擔憂，但表示 「企業間正常的經貿合作不應被政治化。我們敦促美方一些人士摒棄意識形態偏見，停止泛化國家安全概念」。

俄勒岡 「硅林」 的重要樞紐

　　2023 年 11 月，盛美半導體宣佈在俄勒岡州希爾斯伯勒市開設新設施，該地區被譽為該州的 「硅林」，新設施 「戰略選址於主要客户和合作夥伴附近」，將作為公司新的銷售和服務中心。

　　該設施距離英特爾核心研發及早期量產工廠僅約 1 英里，且該州內並無其他尖端芯片工廠。

　　美國對衝基金 Kerrisdale Capital2025 年 1 月的一份報告稱，該設施旨在鞏固盛美半導體與英特爾的合作關係，指出盛美半導體 2023 年底已在該設施完成一款新工具的認證，並於 2024 年年中交付了更多設備。

　　Kerrisdale Capital 上月發佈的后續報告稱，盛美半導體 「已通過與英特爾等全球龍頭企業的戰略合作，為海外擴張奠定基礎，相關成果有望在 2026 年顯現」。該機構還補充，盛美半導體正在英特爾開展 「多個清洗工藝環節的工具評估工作」，同時 「正升級當地的客户演示實驗室和本土研發能力，以便英特爾能在本地使用盛美半導體的工具進行晶圓測試」。

　　英特爾未就該報告置評，盛美半導體則表示，其並非任何美國大型芯片製造商的主要設備供應商。

中國廠商角逐全球市場份額

　　據高德納諮詢（Gartner Research）數據，盛美半導體在全球半導體設備市場仍屬小體量玩家，位列第 24 名，在清洗工具細分領域的市場份額為 8%。

　　但美國國會中國問題特別委員會 10 月的一份報告指出，早在美國開始限止步中國獲取美國工具之前，中方至少自 2015 年起就已在着力打造具有競爭力的本土半導體制造產業，中國工具廠商的全球市場份額也已實現增長。

　　該委員會還稱，「甚至已關切地審閲過相關報告，稱盛美半導體曾向一家在美國有業務的半導體制造商出售半導體制造設備，且該美國企業還正式認證了盛美半導體的工具可用於其生產線」，不過報告未披露更多細節。