國力電子突破真空電容「卡脖子」，跑出半導體設備國產替代加速度

「卡脖子」清單越拉越長，半導體設備領域國產化率提升箭在弦上。以應用於刻蝕、薄膜沉積等半導體設備射頻電源中的核心元件——真空電容器為例，國內企業與外國品牌相比，仍在競爭優勢方面有所欠缺。

真空電容器所屬的電子真空器件，是電子產品及電子信息產業的重要組成部分，其質量和技術水平直接決定電子信息產品的質量與性能。中高端電子真空器件更是長期制約我國高端裝備製造、信息通訊、大科學裝置、醫療等關鍵領域發展突破的瓶頸之一。

作為國內領先的電子真空器件供應商，國力電子（688103.SH）依託自身深厚的電子真空技術底藴，自主研發並掌握了陶瓷金屬化、陶瓷真空密封、核心設計及製造等電子真空器件核心技術。從下游應用來看，國力電子構建起協同創新網絡，在新能源汽車及充電設施、半導體設備製造、光伏風能及儲能、航空航天軍工、大科學工程等多個領域齊頭並進，為我國的高端製造業自主可控提供關鍵支撐。

推動半導體設備核心元件國產化，在國際競爭中嶄露頭角

在國家「科技自立自強」的指引下，基礎元器件領域的自主突破成為推動產業升級與前沿科技發展的關鍵抓手。這一趨勢在半導體設備製造領域尤為明顯——我國的半導體設備製造市場起步較晚，長期依賴進口，國產化程度不高，國內半導體設備電子器件供應商數量相應較少。

國力電子是國內半導體設備電子器件發展較早的供應商之一，主要生產應用於半導體設備中射頻電源的真空電容器及真空繼電器，射頻電源是半導體設備配套電源，廣泛應用於等離子體刻蝕（PlasmaEtch）、增強氣相沉積（PECVD）、氣相清洗等設備中。

值得一提的是，國力電子真空電容器在性能、參數等方面已達到國際主流水平，尤其是在刻蝕、薄膜沉積等關鍵設備環節實現技術突破。

今年上半年，國力電子在半導體領域收入主要由真空電容器貢獻，該領域競爭對手均為國外品牌，主要參與者包括Comet、明電舍等，國力電子產品憑藉耐壓高、體積小、損耗低、性能穩定可靠等特點，性能參數與國外領先品牌旗鼓相當，且生產成本較低，在國際競爭中逐漸佔據一席之地。

東興證券研報指出，國力電子作為真空電器件的生產商，將受益於半導體設備市場的快速發展。真空電容器作為等離子沉積、刻蝕、離子注入設備的重要零件，直接影響芯片良率，具有不可替代性，國內集成電路產業發展有望驅動真空器件行業增長。預計2025年中國集成電路行業的銷售規模將達到1.35萬億元，中國大陸集成電路封測產業的銷售收入將達到3303.3億元，真空電器件作為半導體設備核心部件，市場前景廣闊。

加大研發投入，夯實技術壁壘

在半導體設備領域建立起與國際品牌比肩的優勢，離不開國力電子在技術與研發上的深厚積澱。歷經二十年的發展與沉澱，國力電子成功構建了完整的電子真空器件核心技術平臺，積累了豐富的工藝研發和產品設計製造技術體系。公司自主掌握了研發和生產的全部環節，能夠全面滿足多品種電子真空器件產品的研發設計製造需求，實現研發成果向產品產業化的高效轉化。

基於前期優勢，國力電子持續優化並提升核心工藝技術水平，積極推動產品設計與製造技術的創新。公司掌握了自主可控的陶瓷真空密封、陰極製造、電磁控制等關鍵製造技術工藝，並配備了完善的測試系統平臺，從而能夠批量生產出小型化、長壽命、高可靠、高性能、高穩定性的高端電子真空器件產品，以滿足國防科技、半導體等高端裝備領域對基礎核心電子器件國產化的迫切需求。

國力電子2024年年報顯示，公司當年成功研發了應用於射頻通信系統及高電壓隔離系統的高耐壓射頻快速繼電器，且已進入小批量生產階段。此外，公司還完成了高性能精細化真空電容器及配套馬達驅動、控制系統的研發，產品獲國內半導體高端客户認可，實現批量交付。

2025年上半年，國家持續加大對核心電子零部件行業的政策支持力度，圍繞關鍵技術攻關與產業鏈協同強化頂層部署，並通過設立專項基金、優化税收政策及加強知識產權保護等舉措，為企業研發創新與競爭力提升提供了有力保障。

在此背景下，國力電子持續踐行「科技興企、創新驅動」的理念，持續加大研發投入，今年上半年合計投入4485.98萬元，同比上升18.13%。公司還注重核心產品開發，積極探索和開發電真空器件行業中具有發展前景的新產品，保障公司核心技術先進性，搶佔行業技術制高點，全面提升自主創新能力。

據國力電子2025年半年報披露，在電子元器件及高端裝備領域，公司重點推進了新一代高頻高功率器件、智能化模塊的研發迭代，多項關鍵技術取得階段性突破，部分產品已完成性能測試並進入客户驗證階段。同時，公司通過優化材料工藝、提升產品可靠性，進一步鞏固了在細分市場的技術領先優勢。其中，在半導體制造領域，公司正在推進高耐壓射頻快速繼電器、高穩定性真空電容器的研發。

今年上半年，國力電子共申請專利38件，授權專利18件，依靠核心技術形成了電真空器件製造領域多項研發成果，推廣應用方面成效明顯，使得公司在電真空器件領域形成了更為完備的產品體系，鞏固了行業地位，為公司后續發展提供強有力的支撐。

華西證券指出，我國半導體設備市場已連續多年位列全球首位，但國產化率較低，自主可控勢在必行。作為國內高度稀缺的真空電容產品生產商，國力電子的產品性能和國外對手基本相當，並已在下游客户實現部分外資替代，隨着國產替代趨勢加速及公司產品良率不斷提高，2025年公司半導體業務收入會明顯增加。