芯屏並舉 粵啟新程 | 中微公司華南總部研發及生產基地項目盛大開工

中國廣州，2025年9月19日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱「中微公司」，股票代碼：688012）今日於廣州市增城經濟技術開發區隆重舉辦開工儀式，宣佈其旗下的華南總部研發及生產基地項目正式開工啟動。隨着中微半導體設備（廣州）有限公司（以下簡稱「中微廣州」）的蓬勃發展以及廣州研發及生產基地建設的啟動，中微公司將進一步增強產品研發與先進製造能力，全面深化在半導體及泛半導體產業鏈的戰略佈局，持續鞏固其在全球高端半導體設備領域的領先地位。

中微公司董事長兼總經理尹志堯博士致辭

本次活動得到了各級政府的大力支持，季華實驗室、國家新型顯示技術創新中心等科研院所代表以及眾多業界合作伙伴出席活動，與中微公司管理團隊及員工代表共同見證這一里程碑時刻。

芯屏並舉，粵啟新程，中微公司華南總部研發及生產基地總體規劃佔地約130畝，此次開工建設的一期項目佔地約50畝，預計2026年年底建成，2027年計劃投產。基地建成后將聚焦大平板顯示設備領域的研發與生產，並將逐步拓展至智能玻璃、板級封裝等其他新興平板微觀加工技術領域。隨着中微公司華南總部研發及生產基地的建設啟動，將為公司不斷提升研發及生產能力提供有力保障，也將為區域經濟發展注入強勁新動能。

中微公司自2004年成立以來，一直致力於開發和提供等離子體刻蝕、化學薄膜、量檢測等微觀加工所需的高端關鍵設備。公司在過去14年保持營業收入年均增長大於35 %。 在2024年比2023年年銷售增長 44.7 % 的基礎上，2025年上半年營業收入繼續保持高速增長，同比增長43.9 %，達到49.61億元。

公司持續加大研發力度，2025年上半年研發投入達到14.92億元，同比增長約53.70%， 研發投入佔公司營業收入比例約為30.07%，遠高於科創板上市公司的平均研發投入水平。公司目前在研項目涵蓋六大類設備、二十多款新產品的開發；在泛半導體微觀製造領域，中微公司不斷拓展產品佈局，包括新一代TSV深硅刻蝕設備和PVD及CVD設備，大平板顯示技術，智能玻璃和玻璃基板的大平板設備領域所需的薄膜設備及等離子體刻蝕設備等眾多產品。

談及平板設備業務的發展，中微公司集團副總裁、中微廣州公司總經理張凱表示，廣州研發及生產基地項目的啟動，彰顯了中微公司依託半導體設備領域的深厚基礎，跨界發展、迅速開拓新興應用領域的強大能力，同樣也體現了廣東各級政府創新的工作思路和務實的工作作風，大大加速了中微公司產品研發及成功產業化的進程。

中微公司集團副總裁、中微廣州公司總經理張凱致辭

活動現場，中微公司董事長兼總經理尹志堯博士在致辭中表示，數碼產業是現代工業和國民經濟發展的引擎，集成電路和各種微觀器件是數碼產業的核心。目前公司的三十多種設備已經覆蓋半導體高端設備的25%到30%，在今后的五到十年，公司計劃通過有機生長和外延擴展，逐步覆蓋半導體高端設備的50%到60%，發展成為平臺型的集團公司。廣州研發及生產基地項目的啟動，是中微公司深入推進「三維發展」戰略的重要實踐，將為公司多元化佈局和實現高質量發展打下堅實的基礎。希望中微廣州紮根南粵大地，持續創新突破，深入貫徹「五個十大」的企業文化，與粵港澳大灣區的科研機構、高校及產業鏈上下游企業開展更深入的合作，為半導體及泛半導體產業的發展和廣東地區的科技創新和經濟建設做出卓越貢獻。

尹志堯博士在活動現場致辭

攀登勇者，志在巔峰。中微公司將瞄準「打造世界級裝備企業」戰略目標，不斷加大研發力度，持續夯實公司在高端微觀加工設備領域的核心競爭力，秉承「五個十大」的企業文化，即「產品開發十大原則」、「戰略銷售十大準則」、「營運管理十大章法」、「精神文化十大作風」和「領導能力十大要點」，堅持三維立體發展戰略，堅持有機生長和外延擴展的策略，實現高速、穩定、健康和安全的高質量發展，力爭儘早成為高端設備平臺化公司，在規模上和競爭力上成為國際一流的半導體設備公司！

關於中微半導體設備（上海）股份有限公司

中微半導體設備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力於為全球集成電路和LED芯片製造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類、包括二十幾種細分刻蝕設備已可以覆蓋大多數刻蝕的應用。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用於國內和國際一線客户，從65納米到5納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用。中微公司最近十年着重開發多種導體和半導體化學薄膜設備，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI設備，並取得了可喜的進步。中微公司開發的用於LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備早已在客户生產線上投入量產，並在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場佔據領先地位。此外，中微公司已全面佈局光學和電子束量檢測設備，並開發多種泛半導體微觀加工設備。這些設備都是製造各種微觀器件的關鍵設備，可加工和檢測微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現代數碼產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。在美國TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半導體設備客户滿意度調查中，中微公司四次獲得總評分第三，薄膜設備四次被評為第一。

(中微公司)