Lam Research與JSR Corporation/Inpria Corporation達成交叉許可合作協議，以推進半導體制造

公司將專注於前沿芯片的圖案化，包括干抗蝕劑極紫外曝光和下一代材料

加州弗里蒙特東京，9月2025年15日/美通社/ -- Lam Research Corp.（納斯達克：LRCX）是半導體制造設備和服務領域的全球領導者，JSR Corporation是一家專注於材料創新解決方案的領先技術公司，也是金屬氧化物光致抗蝕劑解決方案提供商Inpria Corporation的母公司，今天宣佈，Lam和JSR/Inpria已達成一項非獨家交叉許可和合作協議，以推進領先的半導體制造。該合作伙伴關係旨在加速該行業向下一代圖案化的過渡，包括用於極紫外（UVA）印刷的干抗蝕劑技術，並推進用於原子層蝕刻和沉積工藝的下一代材料的開發。

該協議利用了JSR集團的創新半導體材料（包括金屬氧化物解決方案）以及Lam在沉積、蝕刻和極紫外圖案化方面的深厚能力，包括Aether®、Lam的開創性干抗蝕劑設備和工藝技術，該技術降低了創建人工智能（AI）和高性能計算（IPC）芯片所需複雜圖案的成本和複雜性。

兩家公司將合作將JSR/Inpria的圖案化抗蝕劑和薄膜與Lam的蝕刻和干抗蝕劑沉積技術集成在一起。Lam和JSR/Inpria還將共同努力，在多個領域擴大創新，以支持芯片製造商在人工智能時代的規模，包括與金屬氧化物抗蝕劑、用於先進節點的高NA EUV圖案化以及用於下一代圖案化的其他先進薄膜相關的研發。此外，利用JSR最近收購的Yamanaka Hutech Corporation，Lam和JSR計劃探索用於先進原子層沉積和蝕刻解決方案的新前體材料和工藝。

「通過豐富補充Lam的成熟原子層沉積和蝕刻能力與JSR在先進圖案化材料方面的深厚專業知識，這種合作使我們能夠在半導體複雜性不斷上升的時候加速創新，」首席技術和可持續發展官Vahid Vahedi説。「這包括推動新型低NA和高NA極紫外圖案化材料和金屬氧化物抗蝕劑，並提供更好的使用以太乾抗蝕劑技術的機會。"

JSR Corporation高級官員Toru Kimura表示：「在JSR，我們致力於開發尖端材料，以實現客户最嚴格的技術路線圖。」「通過將JSR和Inpria的材料專業知識與Lam Research在沉積、蝕刻和干抗蝕劑技術方面的優勢相結合，我們的目標是加速推出極紫外光印刷解決方案（包括高NA），並支持行業在新的人工智能時代有效地擴展。"

Lam和Inpria還同意駁回特拉華州地方法院Inpria訴Lam Research訴訟（案件1：22 cv 01359）以及所有相關各方之間審查（IPR）程序中針對彼此的所有索賠。

關於Lam Research Lam Research Corporation是一家為半導體行業提供創新芯片製造設備和服務的全球供應商。Lam的設備和服務使客户能夠製造更小、性能更好的設備。事實上，今天，幾乎所有先進的芯片都是用Lam技術製造的。我們將卓越的系統工程、技術領先地位和強大的價值觀文化與對客户堅定不移的承諾相結合。Lam Research（納斯達克股票代碼：LRCX）是一家財富500強®公司，總部位於加利福尼亞州弗里蒙特，業務遍及全球。請訪問www.lamresearch.com瞭解更多信息。

關於JSR Corporation JSR Corporation是一家開發尖端材料的全球科技公司。我們的電子材料業務為先進邏輯和存儲器提供廣泛的半導體材料，包括光致抗蝕劑和輔助材料、化學機械拋光漿等工藝材料、清潔溶液、包裝材料和前體。JSR電子材料部門的集團公司包括Inpria Corporation（於2021年收購）和Yamanaka Hutech（於2024年8月收購），生產高純度化學沉積/原子層沉積前體。JSR提供具有附加功能的高質量材料，推動半導體市場的創新並實現客户突破。請訪問www.jsr.co.jp。

關於前瞻性陳述的注意事項：本新聞稿中發表的不符合歷史事實的陳述屬於前瞻性陳述，並受1995年《私人證券訴訟改革法案》制定的安全港條款的約束。這些前瞻性陳述基於Lam和JSR的當前預期、各自管理層的信念以及Lam和JSR做出的某些假設，所有這些都可能發生變化。前瞻性陳述通常可以通過諸如「可能」、「計劃」、」相信」、「將」、」可能「、」如果」、類似的表達以及這些詞的變體或否定詞來識別。此類前瞻性聲明的示例包括但不限於本新聞稿中有關以下內容的聲明：（i）Lam和JSR之間的合作，（ii）Lam和JSR對交叉許可和合作協議的預期，（iii）行業和趨勢以及未來技術要求，（iv）Lam和JSR產品和技術的能力，及（v）撤銷訴訟。有許多重要因素可能導致實際結果或事件與這些前瞻性陳述所示的結果或事件存在重大差異，包括：Lam和JSR可能無法獲得交叉許可和合作協議的預期利益;可能無法獲得駁回訴訟所需的法院批准，或在未預期的條件下獲得;行業和整體經濟的商業、經濟、政治和/或監管狀況可能會惡化或變化; Lam和JSR的客户和競爭對手的行為可能與Lam和JSR的預期不一致;貿易法規、出口管制、關税、貿易爭端和其他地緣政治緊張局勢可能會抑制Lam和JSR銷售其產品的能力;以及林向美國證券交易委員會提交或提供的文件中描述的其他風險和不確定性，特別包括林截至2025年6月29日財年的10-K表格年度報告中描述的風險因素。這些不確定性和變化可能會嚴重影響前瞻性陳述，並導致實際結果與預期發生重大差異。林和JSR沒有義務更新本新聞稿中的信息或聲明。

* 編者注：本新聞稿於太平洋時間2025年9月15日下午5點/日本標準時間2025年9月16日上午9點發布

Lam Research聯繫人：Laura Bakken媒體關係電話：+1（510）572-9021電子郵件：publicrelations@lamresearch.com Ram Ganesh投資者關係電話：+1 + 1（510）572-1615電子郵件：investor. lamresearch.com

JSR Corporation聯繫人：川島由紀電子材料事業戰略部電話：+81-3-6218-3500電子郵件：litho_semi@jsr.co.jp

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來源：Lam Research Corporation; JSR Corporation