臺積電2nm停用大陸設備！

（來源：半導體前沿）

8月25日消息，據《日經新聞》援引知情人士的話報道稱，臺積電正在其最先進的2nm芯片工廠中停止使用中國大陸芯片製造設備，以避免美國可能採取的限制措施擾亂生產。

臺積電2nm生產線將於今年投入量產。生產線計劃首先在中國臺灣新竹市投產，隨后在中國臺灣南部高雄市投產。臺積電還在美國亞利桑那州建設第三家工廠，最終將生產此類芯片。

這一決定受到美國一項潛在法規的影響，該法規可能禁止接受美國資金或財政支持的芯片製造商使用中國大陸製造設備。

報道稱，以參議員馬克·凱利（Mark Kelly）為首的美國立法者提出了《芯片裝備法案》，該法案旨在禁止獲得美國聯邦政府支持和税收抵免的接受者從「關注的外國實體」購買設備，眾多半導行業高管認為其中包括了中國大陸的設備供應商。

報道稱，臺積電的這一決定是領先的芯片製造商如何試圖適應日益增長的地緣政治不確定性的最新例子。現在，在岸外包工作不僅涵蓋生產本身，還涵蓋更廣泛的芯片供應鏈的彈性。

臺積電早期先進芯片生產線中使用的一些中國大陸設備包括來自中微公司（AMEC）以及Mattson Technology的蝕刻工具，后者原是一家美國公司，於2016年被北京屹唐半導體收購。

多位知情人士透露，臺積電還在調查其使用的所有芯片製造材料和化學品，旨在減少對中國大陸供應產品的使用。與此同時，他們表示，該公司計劃與中國大陸本土供應商更緊密地合作，以配合其在華生產運營。該戰略旨在增強其供應鏈的韌性，並在可能的情況下增加對本地採購材料的使用。

中國臺灣及美國2nm產線將剔除大陸設備

消息人士稱，大約一年前，臺積電的目標是將其於2022年在中國臺灣投入量產的3nm製程技術上剔除中國大陸供應的半導體設備，因為臺積電計劃將3nm製程的生產帶到美國亞利桑那州，並希望避免潛在的美國監管不確定性。

然而，更換其他合格的設備供應商，即使是製造過程中的非關鍵步驟，也需要花費大量的時間和精力，並且存在影響良率和生產質量的風險。因此，臺積電決定開始從更先進的2nm節點中剔除中國大陸的設備，因為它即將開始大規模生產。

臺積電董事長兼首席執行官魏哲家此前曾表示，臺積電正在加快在亞利桑那州建設半導體工廠。在美國晶圓廠擴建完成后，美國可能佔其最尖端製程產量的30%左右，這里的尖端製程定義為2nm或更先進的製程。

美國前政府高級官員、半導體專家梅根·哈里斯（Meghan Harris）表示：「美國必須開始採取措施，防止中國大陸的設備製造商進入……。這種（風險）比美國認識到的更近：某些（中國大陸）設備確實接近變得具有競爭力。」

「芯片裝備法案是美國國會可以採取的一項顯而易見的行動，但在過去幾年中，即使這樣也很難通過，因為（一些）行業人士反對......美國需要通過控制關鍵零部件的准入來阻止中國能夠本土生產工具，並至少阻止中國設備製造商進入美國晶圓廠——最好也包括其他市場。」這位前官員説。

中國大陸領先的芯片製造商一直在增加對國產設備的使用。根據《日經亞洲》的分析，光刻設備市場仍由荷蘭ASML主導，仍然是中國尚未開發出可行替代品的領域。然而，在其他領域，中國公司在創建本地解決方案方面取得了重大進展。該國頂級半導體設備製造商北方華創現已成為全球第六大半導體設備製造商，僅次於行業領導者ASML、應用材料、TEL、Lam Research和KLA。

至少兩家大陸設備廠受影響

臺積電早期先進製程芯片生產線中使用了一些中國半導體設備商供應的設備，其中包括中微公司（AMEC）的蝕刻設備，以及由屹唐半導體控股的Mattson Technology的相關設備。

資料顯示，中微公司成立於2004年5月，總部位於上海浦東，是一家專注於高端半導體設備研發、生產和銷售的企業。其主要產品包括：刻蝕設備、薄膜沉積設備、量測設備、大平板設備。此前的公開信息顯示，中微公司的半導體刻蝕設備已經進入臺積電3nm產線。

Mattson Technology於1997年4月在美國特拉華州成立，是一家半導體制造設備的供應商，主要Dry Strip（干法去膠）、Dry Etch（干法刻蝕）、RTP（快速熱處理）、MSA（測量系統分析）等設備及應用方案。2016年，Mattson Technology被屹唐半導體收購。

值得一提的，今年8月13日，屹唐半導體發佈公告，指控美國半導體設備大廠應用材料僱傭了兩名前Mattson員工，這兩人后來被列為應用材料公司在中國申請的一項專利的主要發明人。屹唐半導體表示，該專利向中國知識產權局提交，披露了其與Mattson共同持有的關於等離子體的產生和處理方法的核心技祕密。對此，屹唐股份在北京知識產權法院起訴應用材料，索賠9999萬元！

還將涉及半導體材料供應的本地化

多位知情人士稱，臺積電還在努力調查其使用的所有芯片製造材料，比如化學品等，以減少在中國臺灣和美國晶圓廠中使用由中國大陸供應商供應的材料。

根據臺媒《工商時報》援引臺積電於8月22日公佈的最新「永續報告書」指出，臺積電近年來持續推動本地化供應鏈。比如，在2024年，臺積電在中國臺灣地區採購的間接原物料比例達65％，超越了原訂的64.9％目標；臺積電海外晶圓廠的本地化採購間接原物料比例也高達64.6％，超出了原訂的63.6％。在可持續供應鏈管理架構下，臺積電都設定有明確的階段性目標。

針對本地化採購，臺積電表示，正朝2030年將中國臺灣地區的本地化採購間接原物料比例提升至68％；全球本地化採購間接原物料比例則預計於2030年達到67.5％，顯示臺積電對於深化本地供應鏈的決心。也反映了臺積電積極扶植本地供應商，有助於當地建立更具韌性的半導體產業生態系統。

臺積電指出，主要原物料採購依循「多元料源、品質控管、在地化採購、永續營運」四大方向，制定完整管理行動方案，確保供應鏈穩定運作。為此，臺積電持續推動或維持在地採購比例；支持在地供應商提升技術與品質、降低成本及碳排放量，藉以提高在地採購量。

以臺積電在中國臺灣建廠所使用的混凝土為例，除主要供應商皆為中國臺灣本地的混凝土公司外，所使用的水泥也大多數皆為在中國臺灣生產。而供應鏈業者觀察，近年明顯感受臺積電積極推動，尤其在2nm製程，已經有不少台系廠商在不同製程段打入。

如用於薄膜沉積製程硅丙烷（Si3H8），台特化有望在Nanosheet納米片扮演要角；新應材也為臺積電開發並供應表面改質劑（Rinse）、底部抗反射層（BARC）、洗邊劑（EBR）等微影製程材料。而過去臺積電的很多例如特殊氣體、化學品則主要來自於日本廠商。

在零部件採購方面，臺積電目前在中國臺灣本地化採購的零配件比例達46.0％。供應鏈業者透露，臺積電也會幫助其完成製程精進與品質改善輔導，以應對近年地緣風險上升，臺積電也正在進行原物料多元貨源方案開發。

與此同時，臺積電也希望其在中國大陸晶圓廠與當地供應商更緊密地合作，以便更好地開展生產業務，並符合中國大陸政策的優先事項。該戰略旨在加強其供應鏈彈性，並在可能的情況下增加對本地採購材料的使用。

對於《日經新聞》的報道，臺積電拒絕就其生產節點使用的具體設備發表評論。但臺積電表示：「一如既往，臺積電的全球採購策略側重於強大的風險管理體系以及與供應商的密切合作，以不斷開發多源供應解決方案並使其全球供應商基礎多樣化。」

來源：官方媒體/網絡新聞

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2024年全球半導體金屬/氧化物前驅體市場規模達17億美元，同比增長15%。中國作為重要市場，亞化諮詢預計2028年半導體前驅體市場將達12億美元。主要受益於存儲芯片及邏輯芯片先進製程的需求。伴隨中芯、華潤、華虹、長江存儲、長鑫、等本土晶圓廠擴產，國產前驅體在純度、定製化解決方案領域替代空間巨大。國內龍頭企業雅克科技、南大光電、正帆科技發展迅速，廈門恆坤、上海至純等在前驅體領域也不斷推進。