Axcelis科技公司與GE Aerospace進入聯合開發計劃，重點開發具有生產價值的6.5至10電壓超級結電力設備。

Axcelis科技公司（納斯達克股票代碼：ACLS）是半導體行業離子注入解決方案的領先供應商，宣佈與GE Aerospace開展聯合開發計劃（JDP），重點開發可生產的6.5至10電壓超結功率器件。工藝將在Axcelis的Purion XEmax™高能注入機上開發，該設備在最廣泛的能量範圍（高達15 MeV）內提供業內最高的束流。

該JDP支持由GE Aerospace領導的「先進高壓硅碳化物開關」項目，該項目是由北卡羅來納州立大學領導的寬帶間隙半導體（CLAWS）中心商業飛躍的一部分。該項目的目標是提高重要新興應用中使用的電源開關的性能。

與傳統硅（Si）器件相比，碳化硅（Sic）寬帶帶隙半導體提供更高的電壓、工作温度和頻率。這些半導體器件通過降低功耗和縮小關鍵系統的封裝，支持航空航天和國防領域的許多應用。在商業方面，高壓寬帶寬帶隙半導體預計將在人工智能、量子計算、自動駕駛汽車和更具彈性的電網等新興關鍵技術中發揮重要作用。

總裁兼首席執行官Russell Low評論道：「我們很自豪能夠與GE Aerospace合作開展這項工作，這有可能加速超級結技術的採用。Axcelis致力於提供設備和流程專業知識，幫助我們的客户制定超級樞紐設備路線圖。"

Axcelis的Purion XEmax在能量範圍上提供了最大的靈活性，以優化深度和濃度的輪廓，通過減少應用步驟數量來實現更具成本效益的方法，並且在引導超過7µm的鋁植入深度方面表現出色。

GE Aerospace通過其位於紐約州尼斯卡尤納的研究中心，在三十多年的時間里建立了世界領先的SiC技術IP產品組合，並通過其電力業務銷售基於SiC的電力產品，以支持商用飛機和地面車輛上的航空電子設備和電氣系統。最近，GE Aerospace的研究人員一直在關注SiC的開發，以實現未來更極端的飛行操作，例如高超音速飛行器和太空旅行，並支持電力推進的開發。

通用電氣航空航天研究中心首席工程師Ljubisa Stevanovic博士表示：「高壓Six功率器件是一系列關鍵新興應用和未來事業的重要推動者，包括高超音速旅行、電力推進和太空探索。我們很高興與Axcelis合作開展這個項目，因為他們在硅碳化物功率器件離子注入方面的專業知識以及市場領先的Purion高能離子注入器產品組合。"