向新而行丨東江環保原創BOE廢液資源化處理方法獲國家發明專利授權

8月12日，東江環保自主研發的「一種BOE廢液的資源化處理方法」正式獲得國家知識產權局發明專利授權。此項專利技術的突破，標誌着公司在半導體蝕刻廢液高值資源化領域取得重要進展。

BOE（緩衝氧化物蝕刻液）是半導體行業硅片圖案蝕刻的關鍵耗材，失效后即成為危險廢液。傳統「中和-填埋」模式不僅浪費了廢液中氟化物、氨氮等寶貴資源，還伴隨氟離子殘留、氨氣逸散及高昂填埋費用等行業痛點。

東江環保原創開發的BOE廢液資源化處理方法成功破解上述難題。其核心優勢在於：一是創新性實現廢液中主要成分的協同回收與高值轉化；二是徹底去除氟離子，顯著降低了對后續蒸發器等設備的腐蝕風險；三是通過工藝設計有效控制氨氣無組織排放，環境友好性顯著提升；四是所得冰晶石等資源化產品純度符合相關國家標準，具備良好的市場應用前景。

目前，該項技術已在東江環保所屬江西東江實現產業化應用，累計協同處置BOE廢液約200噸，噸處理收益較傳統無害化方式提高1000元。基於該專利技術的「複雜BOE廢液協同銨鹽母液綠色增值資源化回收關鍵技術及產業化應用」項目成功獲批江西省政府課題支持。下一步，公司將持續優化結晶控制及多源協同工藝，加速冰晶石、氟化鈣等產品技術的規模化應用及複製拓展，全面提升資源化利用率與經濟效益。

此項專利的授權，不僅是東江環保在新型危廢資源化領域的技術里程碑，更是公司深耕「無廢城市」建設、以創新引擎驅動產業鏈綠色低碳轉型的又一力證。接下來，東江環保將持續踐行廣晟控股集團FAITH經營理念，以科技賦能循環經濟，為我國高端製造與生態文明協同共進貢獻力量。

撰稿：科技創新與數智化部 駱夢

編審：黨羣工作部

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(東江環保)