普達特科技(00650)獲得一臺半導體高温硫酸清洗設備的樣機訂單

智通財經APP訊，普達特科技(00650)發佈公告，公司已從一個客户處獲得一臺半導體高温硫酸清洗(高温SPM)設備(該設備)的樣機訂單。該設備目前已處於組裝與測試階段，前期已通過客户的多項工藝性能測試與馬拉松測試，部分指標達到國際領先水平，顯著推進了國產高温SPM清洗設備打破海外壟斷的進程。該樣機訂單的收入暫未確認。據董事經作出一切合理查詢后所深知、盡悉及確信，於本公告日期，該客户及其最終實益擁有人為獨立於公司及其關連人士的第三方。

該設備採用高温SPM清洗工藝，可覆蓋12英寸晶圓關鍵製程的PR-strip、Post CMP、NiPt remove等多種應用，是業界公認的高難度濕法工藝，市場目前由海外設備供應商壟斷。公司研發的該設備，具備國內領先、國際一流的高温控制能力，可覆蓋至190°C的高温SPM工藝，經馬拉松驗證，終端工藝腔體高温硫酸温控範圍±2°C，優於主要海外供應商的±5°C。該設備通過NiPt remove工藝demo測試，在高挑戰性的工況下取得了與國際基準產品對齊的測試結果。該設備在設計方面，採用了化學供液系統與工藝腔室集成化的設計，保證了更大的工藝兼容性與靈活的應用配置，可為客户提供更具綜合競爭力與性價比的解決方案。

下一階段，公司將致力於完成該設備的交付與驗證，並擴大客户在高端應用領域對集團的設備的採用，充分發揮公司技術團隊在半導體濕法技術方面的優勢，解決行業痛點，提高客户效率，繼續推動高端半導體設備國產化。