2nm工藝大考倒計時

2025年，是先進製程代工廠交付2nm及以下工藝的時間點。2025年，2nm是全球半導體產業一大看點。隨着時間的推進，2nm工藝「先行者們」的進展如何？

臺積電近期表示，2nm工藝技術進展良好，將如期在今年下半年量產，產能在今年年底前有望達到5萬片，甚至有機會邁上8萬片臺階。

三星表示，其新一代自研移動處理器Exynos 2600將採用自家的2nm工藝（SF2）代工，目前試產初始良率達到了預計的30%，正投入大量資源，以確保其按時量產。

英特爾在官網上公開了其最尖端的Intel 18A製程工藝的介紹，並稱其已經「準備就緒」。

日本晶圓代工初創企業Rapidus表示，其2nm晶圓廠建廠進度順利，將在4月1日開始試產2nm，2027年開始量產。臺積電：進度超前，降本仍是首要難題

作為產業的領頭羊，臺積電在2nm芯片的研發和量產進度上一直處於行業領先地位，目前良率已經達到60%。

早在2024年第一季度，臺積電就在新竹寶山晶圓廠（Fab 20）成功設立了2nm製程技術的試產線，這一舉措標誌着臺積電在2nm技術領域已經取得了顯著進展。根據臺積電的規劃，2025年下半年將是一個重要的時間節點，屆時2nm芯片將正式進入批量生產階段。到2025年年底，若計入高雄晶圓廠（Fab 22）的產能，其2nm工藝的月產能預計將突破5萬片。而在2026年年底，這一數字有望進一步攀升至每月12至13萬片。

同時，臺積電爲了滿足2nm的量產需求，加大了對ASML的EUV光刻機的採購力度，在2024年就訂購了30台，並且計劃在2025年再訂購35台，其中還包括ASML最新推出的High-NA EUV光刻機。如此大規模的產能規劃，為其在全球半導體市場的競爭中奠定了基礎。

在技術方面，臺積電在晶體管架構上，摒棄了沿用已久的鰭式場效應晶體管（FinFET），轉而採用全環繞柵極場效應晶體管（GAAFET）技術。專家表示，這種全新架構由一疊狹窄的硅帶組成，每個硅帶都被一個柵極全方位包圍。相比FinFET，GAAFET對電流的控制更為精細，極大地降低了量子隧道效應，使得芯片在相同功耗下能夠實現更高的性能，或者在相同性能下大幅降低功耗。舉例來説，在移動設備中，採用GAAFET架構的2nm芯片能讓手機在長時間運行高負載遊戲時，發熱更少、電量消耗更慢，同時遊戲畫面的流暢度和響應速度都能得到顯著提升。

臺積電位於晶圓二十廠的2nm工藝主要生產基地

此外，臺積電還在2nm工藝中引入了多種新技術，例如NanoFlex DTCO（設計技術聯合優化）技術的使用讓開發者可以根據不同的應用需求，靈活選擇更高效的單元高度。若用於對能效要求極高的物聯網設備芯片，可開發面積最小化、能效增強的更矮單元，讓設備在極小的電量下也能長時間穩定運行；採用的第三代偶極子集成技術，支持六個電壓閾值檔（6-Vt），範圍達到200mV。這使得N型、P型納米片晶體管的I/CV速度分別提升了70％、110％，優化了芯片的性能表現；利用全新的中間層（MoL）、后端層（BEOL）和遠后端層（Far-BEOL）導線，讓電阻降低20％，能效更高。並且，第一層金屬層（M1）現在只需一步蝕刻（1P1E）、一次EVU曝光即可完成，降低了複雜度和光罩數量，不僅提高了生產效率，還降低了生產成本。此外，針對高性能計算應用，臺積電還引入了超高性能的SHP-MiM電容，容量大約每平方毫米200fF，可以獲得更高的運行頻率，滿足了大數據處理、人工智能訓練等對計算速度要求極高的應用場景需求。

這些技術的綜合使用，讓臺積電的2nm工藝技術在性能提升和功耗降低方面展現出顯著的優勢。臺積電表示，在性能提升上，相較於當前廣泛應用的3nm製程，2nm製程在相同運行電壓下，性能可提高15%，在同等性能下，功耗可降低24%~35%。

儘管臺積電的2nm芯片在技術上優勢明顯，但在市場推廣方面卻面臨着成本高昂的難題。據瞭解，2nm芯片的製造成本極高，每片硅晶圓的報價高達3萬美元，即使蘋果這樣的臺積電的忠實大客户，也會對2nm芯片的報價有所顧慮。蘋果原計劃在iPhone 17系列中應用臺積電的2nm芯片，但最終因成本原因，計劃推迟至2026年的iPhone18系列上使用。

對於其他客户來説，這個影響只會被無限放大，因此，如何在保證技術優勢的同時，降低成本，提高市場接受度，是臺積電未來需要解決的關鍵問題。三星：穩步推進，良率依舊面臨挑戰

三星作為先進工藝的重要推動者，一直在積極研發2nm工藝。在2024年三星晶圓代工論壇年度博覽會上，三星公佈了最新的半導體芯片工藝路線圖，宣佈將在2025年量產2nm芯片，並計劃在2027年量產1.4nm芯片。

據瞭解，三星的2nm工藝佈局了多個節點，其中第一代2nm工藝為SF2，后續又規劃了SF2P、SF2X、SF2A和SF2Z等多個節點。目前，SF2的試產初始良率已經達到了預計的30%，三星正投入大量資源，以確保其按時量產。

技術方面，三星的2nm工藝繼續沿用了全環繞柵極（GAA）設計，三星表示，傳統的FinFET（鰭式場效應晶體管）技術逐漸暴露出侷限性，如短溝道效應加劇，導致漏電現象增加，進而影響芯片的性能和能效。而在GAA技術中，柵極能夠從四個方向包圍溝道，相較於傳統FinFET技術的三柵極結構，這種全環繞的設計極大地增強了對電流的控制能力。當晶體管尺寸縮小時，GAA技術可以有效減少漏電現象，確保芯片在低功耗下穩定運行。

除了GAA技術，三星在2nm芯片中還採用了BSPDN（背面供電）技術，這一技術的應用同樣為芯片性能的提升帶來了諸多好處。專家表示，在傳統的芯片設計中，供電網絡位於芯片正面，隨着晶體管數量的不斷增加和尺寸的縮小，正面的佈線空間變得愈發擁擠，佈線堵塞問題日益嚴重，這不僅增加了電阻，導致功率損耗增加，還限制了芯片性能的進一步提升。

三星的BSPDN技術則將供電網絡轉移到芯片背面，有效解決了佈線堵塞問題。該技術的原理是在芯片製造過程中，通過特殊的工藝在芯片背面構建供電網絡，並利用硅通孔（TSV）技術實現正面晶體管與背面供電網絡的連接。這樣一來，芯片正面就有了更多的空間用於信號佈線，降低了信號傳輸的干擾，提高了信號傳輸的效率，還能顯著提升芯片的性能和能效。

三星認為，公司的2nm工藝與前代工藝相比，其計算性能得到了顯著提升。以三星自家的Exynos系列芯片為例，採用2nm工藝的Exynos芯片在運行復雜的AI算法和大數據處理任務時，運算速度相比上一代採用3nm工藝的芯片提高了12%；在運行速度方面，在智能手機中，搭載2nm芯片的手機在打開各類應用程序時，速度明顯加快，應用的啟動時間平均縮短了30%左右。

此外，三星官方數據顯示，採用2nm工藝后，晶圓的利用率提高了約20%，有效降低了芯片的製造成本，使得三星在市場競爭中更具價格優勢。

儘管三星2nm芯片在技術層面取得了顯著突破，但三星始終面臨着良率不足50%的困境，甚至有報道稱，三星目前試產的2nm芯片良率僅在10%~20%之間。而且，良率問題不僅影響了三星2nm芯片的生產效率，還增加了生產成本。由於大量芯片在生產過程中出現缺陷，無法達到合格標準，導致資源浪費和成本上升。

爲了提高良率，三星採取了一系列措施。三星董事長李在鎔親自拜訪了ASML和蔡司等主要設備供應商，尋求工藝和良率改進的解決方案。然而，目前這些努力尚未取得顯著成果，良率提升仍面臨諸多困難。英特爾：性能擔當，不顧處境堅持博弈

英特爾最近經歷了諸多難事，其代工業務的技術停滯更是被人詬病已久，「牙膏廠」的名號在外甚是響亮。甚至近期有消息稱，臺積電已向英偉達、AMD和博通提出，考慮入股一家合資企業，來負責運營英特爾的代工廠。

但英特爾這個老將並沒有束手就擒，英特爾前任CEO基辛格曾十分硬氣地表示，英特爾的18A工藝技術是業界最領先的，優於臺積電的N2工藝技術，並且最快於2025年上半年就能實現量產。

英特爾官網的資料顯示，與Intel 3工藝節點相比，其18A工藝的每瓦性能提高15%，芯片密度提高30%。提升的主要原因在於英特爾18A工藝技術擁有兩大核心技術，分別是RibbonFET晶體管技術和PowerVia電源傳輸技術。

RibbonFET晶體管技術是英特爾對Gate All Around（GAA）晶體管技術進行的一次創新，這也是自2011年英特爾率先推出FinFET技術以來，在晶體管架構領域的又一次重大變革。據瞭解，RibbonFET晶體管實現了柵極對晶體管溝道的全面環繞。這種全環繞柵極的結構帶來了諸多優勢。

從空間利用效率來看，RibbonFET晶體管溝道採用垂直堆疊的方式，相較於傳統FinFET晶體管的水平堆疊，減少了晶體管在芯片上所佔據的空間。這使得在相同面積的芯片上，可以集成更多數量的晶體管，進一步提高了芯片的晶體管密度，為芯片性能的提升提供了硬件基礎。

在性能提升方面，柵極對溝道的全面環繞增強了對電流的控制能力。無論是在高電壓還是低電壓環境下，RibbonFET晶體管都能夠提供更強的驅動電流，使得晶體管的開關速度得到提升。這意味着芯片在處理各種數據和指令時，能夠更加迅速地響應，從而提高了整個芯片系統的運行速度和效率。在運行復雜的人工智能算法時，RibbonFET晶體管技術能夠使芯片更快地完成矩陣運算等關鍵操作，縮短了模型訓練和推理的時間。

而PowerVia電源傳輸技術是業界首個背面電能傳輸網絡，與三星的BSPDN（背面供電）技術異曲同工，通過將電源傳輸網絡轉移到芯片的背面，成功地解決了在傳統的芯片製造工藝中，隨着芯片晶體管密度的不斷增加，電源線和信號線在正面的佈線變得越來越擁擠的難題。

據專家介紹，在PowerVia技術的實現過程中，首先按照傳統工藝製造晶體管和互連層，然后將晶圓進行翻轉並打磨，露出連接電源線的底層。接着，在芯片的背面構建用於供電的金屬層。這樣一來，電源線和信號線被分離開來，芯片正面可以專注於信號傳輸，而背面則負責電源傳輸。這種全新的供電方式帶來了多方面的優勢。由於供電路徑更加直接，減少了電源在傳輸過程中的電阻和電感，從而降低了電壓。

英特爾的測試結果顯示，PowerVia技術能夠將平臺電壓下降優化30%以上，而使用PowerVia設計的英特爾能效覈實現了6%的頻率增益和超過90%的標準單元利用率，可以讓芯片在運行時獲得更加穩定和高效的電源供應，有助於提高芯片的性能和穩定性，減少了電源線和信號線之間的干擾，提高了信號傳輸的質量。

研究機構TechInsights測算得出，英特爾18A工藝的性能值為2.53，臺積電N2工藝的性能值為2.27，三星SF2工藝的性能值為2.19，這讓業內對英特爾18A工藝技術的期待值拉滿。英特爾如今已經在低谷中掙扎，能不能破釜沉舟拿下這一局，至關重要。Rapidus：潛力新人，能否一飛沖天

日本很早就退出了提高半導體集成度的微型化競爭，目前日本工廠最多隻能生產40nm的通用半導體產品。但近兩年，隨着人工智能等領域的爆火，日本政府也開始嘗試進入先進工藝領域來分一杯羹。

2022年8月，日本政府集結了豐田、索尼、日本電氣、鎧俠、三菱日聯銀行等8家日本本土大企業，共同籌辦了Rapidus公司，目標也十分宏偉，計劃在2027年量產2nm芯片，實現從40nm到2nm的飛躍。這可是臺積電、三星等行業巨頭憑藉多年的技術積累和鉅額的研發投入，用了超過10年的時間才實現的技術突破。因此，這一目標也被日本視為未來重新成為「芯片強國」的關鍵。

對於Rapidus來説，日本政府已經給予了非常多的支持，計劃在2025年下半年，向Rapidus公司出資1000億日元用作追加購買2027年開始量產所需的EUV光刻機等的資金。並且在2025年2月7日，日本政府通過內閣會議決定修訂《信息處理促進法》和《特別會計法》，以支持Rapidus等半導體企業加快下一代半導體的量產。但要從建廠開始，想在短短几年內完成2nm的量產，難度可想而知。

技術開發方面，Rapidus選擇與早在2021年就成功推出了全球首款採用2nm工藝芯片的IBM合作，目前已經在GAA技術的應用上取得了突破。通過引入兩種不同的選擇性減少層（SLR）工藝，保證了芯片在低電壓環境下的高性能。這一工藝改進不僅簡化了生產流程，還提升了良率，為大規模生產打下了基礎。

除了IBM，Rapidus還與比利時微電子研究中心（IMEC）達成了技術合作，進一步拓寬了技術研發的視野和資源渠道。通過派遣員工參與IMEC的研究項目，讓Rapidus能夠及時瞭解和掌握半導體領域的最新研究成果和技術趨勢，為自身的2nm技術研發提供更多的思路和方法。

此外，在2024年12月，Rapidus從ASML獲得第一臺EUV機器。Rapidus社長小池淳義近日在演講會上宣佈，公司首座晶圓廠IIM-1的建設進展順利，已經安裝了超過200台設備，Rapidus計劃在2025年4月1日啟動2nm GAA製程試產。有報道稱，Rapidus將與博通合作，計劃在2025年6月向博通提供試產芯片。除了博通，Preferred Networks也委託Rapidus代工2nm芯片，用於生成式AI處理。

可以看出，當下Rapidus的勢頭很猛，潛力很大，但IBM的2nm芯片技術目前還只是實驗室產物，轉化為批量生產的芯片工藝仍存在諸多技術難題，而且Rapidus作為「新人」，底藴不足，能否試生產成功，馬上4月就能見分曉了。為何業界要擁抱2nm？

在半導體行業的發展歷程中，工藝的進步始終是推動行業前進的核心動力。近年來，人工智能、物聯網、大數據等領域的蓬勃發展，對芯片的要求愈發嚴苛，行業越來越期盼更高性能、更快運算速度、更低能耗的芯片，但芯片存在物理極限，只有不斷精進工藝才能打破桎梏。

2nm工藝相比現有的3nm工藝，在晶體管密度、性能和功耗方面都有着顯著的優勢，2nm工藝可以使芯片的晶體管密度提高約45%，性能提升約15%，意味着芯片可以在更小的面積內實現更多的功能，進而提升芯片的運算能力。在智能手機中，更高的晶體管密度可以讓芯片更快地處理各種數據，無論是運行多個應用程序，還是進行復雜的圖形處理，都能更加流暢。在人工智能領域，大量的晶體管可以支持更復雜的神經網絡運算，加速模型的訓練和推理過程，這對於推動人工智能、高性能計算、物聯網等領域的發展具有重要意義。

在功耗方面，2nm芯片同樣表現突出，比3nm工藝的功耗降低約30%。高功耗不僅會導致設備的續航能力下降，還會產生大量的熱量，影響設備的穩定性和使用壽命。2nm芯片的低功耗特性，可以延長智能手機的電池續航時間。對於數據中心這樣的大規模計算場景，大量服務器產生的能耗是一個巨大的成本，採用2nm芯片的服務器，可以在降低能耗的同時，提高計算效率，節省能源成本。

更小的工藝使得芯片的體積可以進一步縮小，這對於那些對空間要求極高的設備，如可穿戴設備、物聯網傳感器等來説至關重要。更小的芯片面積不僅可以讓設備的設計更加緊湊，實現更加小型化、輕量化的設計，還可以降低生產成本。在生產過程中，同樣大小的晶圓可以切割出更多的芯片，從而提高生產效率，降低單個芯片的成本。

正是由於2nm芯片具備如此卓越的性能優勢，全球各大芯片製造商都紛紛投身於這場激烈的技術競賽中。儘管各大企業2nm量產目前面臨着諸多挑戰，但勢必都會在今年交出答卷，推動半導體行業進入一個新的發展階段，也讓整個產業進入革新期。