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2024-02-07 03:24
近日,國產半導體液路超純管路控制系統領軍企業海普瑞完成數億元戰略融資,本輪融資由高信資本戰略領投,盛美半導體、先導芯創、武岳峰資本、彬復資本、全德學資本、新潮集團、常高新集團和老股東諾華資本跟投。
海普瑞(常州)潔淨系統科技有限公司成立於2022年4月,坐落於江蘇省常州市高新技術產業開發區,依託母公司華生管道科技有限公司超過30年的管路控制系統研發、製造經驗,成為國內首家進入半導體液路超高純管閥件的本土企業。
海普瑞專注於集成電路、光伏等泛半導體液路超純管路控制系統產品的研發、設計與製造,主要產品包括PVDF和PFA超高純閥門、管、接頭、儀器儀表等,產品被廣泛應用於半導體Fab廠超純水主系統及二次配、濕法設備、濕電子化學品等領域。
2023年9月,由海普瑞供貨的中國首條全國產PVDF-UHP超純管路系統在晶合集成12英寸產線通水水質合格。該項目為國內首條採用全國產超純PVDF-UHP管路,水量超1000T/h,其中使用的PVDF-UHP管路系統(含閥門、管、接頭)均由海普瑞全自主設計製造。
半導體超純水傳輸管道對保障超純水的水質極為關鍵,需要滿足嚴苛的金屬離子、TOC、微粒子等指標析出要求,過去國內Fab廠超純水傳輸管道完全依賴海外進口,此次首條全國產超純PVDF-UHP管路系統通水水質檢測合格標誌着海普瑞依賴自主研發成功打破了海外廠商對國內半導體超純水PVDF管道市場的壟斷,維護了國內半導體產業供應鏈的安全,海普瑞將進一步加速技術創新,不斷提升產品質量及性能,為中國及全球半導體產業的發展做出積極貢獻。