敏芯股份獲得發明專利授權：「一種MEMS傳感器的形成方法和MEMS傳感器」

證券之星消息，根據天眼查APP數據顯示敏芯股份（688286）新獲得一項發明專利授權，專利名為「一種MEMS傳感器的形成方法和MEMS傳感器」，專利申請號為CN202610513956.4，授權日為2026年7月14日。

專利摘要：本申請公開了一種MEMS傳感器的形成方法和MEMS傳感器，形成方法包括：提供第一晶圓；在第一晶圓上形成第一絕緣層；提供器件晶圓，並將其與第一絕緣層鍵合；形成貫通器件晶圓，延伸入第一晶圓內的通孔；在通孔內填充多晶硅，以形成電連接結構；在器件晶圓上形成彼此獨立的敏感結構和信號傳輸結構，通孔的投影位於信號傳輸結構的投影範圍內；提供第二晶圓；將敏感結構和信號傳輸結構與第二晶圓鍵合；在第二面所在側去除部分第一晶圓，以在第二面露出位於通孔內的電連接結構；在第二面上形成至少一個信號引出結構。本申請既能提高MEMS傳感器的檢測精度和穩定性，又能降低MEMS傳感器的製造成本，有利於批量生產。

今年以來敏芯股份新獲得專利授權13個，較去年同期減少了55.17%。結合公司2025年年報財務數據，2025年公司在研發方面投入了8171.88萬元，同比增0.93%。

通過天眼查大數據分析，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司共對外投資了14家企業，參與招投標項目29次；財產線索方面有商標信息10條，專利信息520條，著作權信息5條；此外企業還擁有行政許可16個。

數據來源：天眼查APP

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