恆運昌：南方基金、中泰證券等多家機構於6月11日調研我司

證券之星消息，2026年6月24日恆運昌（688785）發佈公告稱南方基金、中泰證券、同泰基金、善思投資、朱雀基金、山西證券、平安基金、招商證券、國泰基金、中郵證券、泉果基金、鵬華基金、平安證券、潤暉投資、華興證券於2026年6月11日調研我司。

具體內容如下：
問：請介紹一下公司2025年度及2026年一季度的業績情況以及行業發展趨勢
答：2025年公司實現營業收入約 5.29 億元，主要原因是半導體行業具有周期波動的特性，下游半導體設備客户的採購量需依據自身承接的晶圓廠訂單數量、產品驗證導入進度及交付驗收節奏動態調整，進而導致對公司的採購呈現波動。2025年公司實現歸屬於上市公司股東的淨利潤約 1.14 億元，主要原因是持續加大較高水平的研發投入，提高技術指標要求，推進新產品開發、產品持續升級迭代等，不斷加強產品競爭力，研發費用較上年同期大幅增加。2026年一季度，公司實現營業收入 1.24 億元，主要原因是半導體行業具有周期波動的特性，下游半導體設備客户的採購量需依據自身承接的晶圓廠訂單數量、產品驗證導入進度及交付驗收節奏動態調整，進而導致對公司的採購呈現波動；公司實現歸屬於上市公司股東的淨利潤 1,758.28 萬元，主要原因是公司全面提升公司運營管理，並持續推進研發投入和各類型人才引進，同時政府補助相對去年同期減少，且公司按照會計準則要求計提相應的資產減值損失。
根據弗若斯特沙利文數據，2024 年全球等離子體射頻電源系統市場規模達 53.4 億美元，過去五年複合增速達8.5%。未來全球等離子體射頻電源系統市場規模將加速增長，2025-2029 年複合增長率預計為10.6%。2024年中國大陸半導體行業等離子體射頻電源系統市場規模達 65.6 億元，未來中國大陸半導體行業等離子體射頻電源市場規模將繼續快速增長，2025-2029 年複合增長率預計為 15.6%。根據SEMI發佈的最新報告，2025年全球半導體設備銷售額達1,350.6億美元，中國在成熟製程及部分先進節點保持持續投入。

問：請公司目前的在手訂單及客户拓展情況如何？
答：截至公司2025年年度報告披露日，公司持有尚未交付的在手訂單共約 1.57 億元。公司將充分發揮研發和技術優勢，結合市場發展前景和客户需求，不斷進行新產品的研發設計，結合公司豐富的技術和生產經驗，積極響應拓荊科技、中微公司、北方華創、微導納米、北京屹唐等行業頭部半導體設備商需求，加快推動更先進工藝製程等離子體射頻電源系統的產業化應用，為客户提供性能更優、可靠性更高的產品，推進公司長期穩定發展。同時，公司還將積極推動主營業務產品向光伏、顯示面板、精密光學等領域的拓展，通過內生研發等方式，不斷提升公司產品性能與質量，並拓寬公司產品品類，助力公司長期穩定發展。

問：請介紹一下等離子體射頻電源系統的應用領域
答：等離子體射頻電源系統的應用較為廣泛，除了半導體、光伏和顯示面板等主要的應用領域，還包括精密光學領域、科研領域、航天領域、醫療等其他領域。公司的等離子體射頻電源系統主要被廣泛應用於半導體工藝中的薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等環節，以及光伏電池片的薄膜沉積、顯示面板鍍膜、精密光學鍍膜、常壓等離子體清洗等工業生產環節。

問：請介紹一下公司第四代產品Cedar系列等離子體射頻電源系統及其他新產品的研發進展
答：截至2025年年底，公司第四代等離子體射頻電源系統 Cedar系列處於驗證狀態，該產品將射頻電源和匹配器整合為一體化平臺，配備多箇中心阻抗應用、可實現快速數據及大數據採集等功能，可支撐更先進製程。截至2025年年底，公司對MFC MEMES傳感器的研發已處於完成初樣流片及搭載測試平臺階段。結合公司未來發展規劃，在產品佈局方面，公司將採取雙輪驅動發展策略，通過內生研發，持續優化現有產品，提升性能與質量，並拓寬產品品類；同時，公司未來將藉助外部併購等戰略舉措，以進一步增強等離子體工藝核心零部件的供應能力，為客户提供一站式的產品和服務，致力於成為圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案的平臺型公司。

問：請介紹一下公司自研產品遠程等離子體源（RPS）、射頻離子源的作用
答：遠程等離子體源結構內包含一個放電腔室，該裝置集成了等離子體射頻電源、匹配器、獨立腔室。其特點是等離子體產生的獨立腔室與晶圓所在的反應腔隔離，故名「遠程」。遠程等離子體源在自有的獨立腔室中通過等離子體射頻電源系統 將氣體電離形成等離子體，再將產生的等離子體傳輸到晶圓所在的反應腔。
射頻離子源係一種由一個或多個等離子體射頻電源、匹配器及感應線圈（發射電極）等組成的用於激發等離子體的模塊化裝置，通過法蘭安裝到反應腔。射頻離子源主要應用於顯示面板、精密光學等領域的后氧化、離子輔助沉積等薄膜沉積工藝。

問：請具體介紹一下公司引進產品種類
答：公司基於等離子體發生條件和反應腔真空環境的實際需求，引進用於獲得和維持真空環境的真空泵、用於流體精確控制的質量流量計以及用於真空鍍膜裝備的等離子體直流電源等核心零部件。公司引進產品和自研產品一同協作，共同為下游客户提供等離子體工藝解決方案。
（1）真空泵在半導體、工業鍍膜等工藝中，將硅片或其他材料放入反應腔室后，需要使反應腔獲得真空環境。真空泵是反應腔獲取真空環境的核心零部件，用於在反應腔中產生和維持真空環境。（2）質量流量計在反應腔獲取真空環境后，需要向反應腔室通入工藝氣體，工藝氣體被等離子體射頻電源電離產生等離子體。此時需要通過質量流量計精確計量和輸送。質量流量計是反應腔供氣系統的核心零部件，用於對氣體等進行質量流量的測量和控制。（3）等離子體直流電源公司引進的等離子體直流電源主要用於真空鍍膜裝備，即在反應腔內使用等離子體直流電源對靶材施加電壓，使氣體離子化，產生等離子體。這些離子在電場的作用下加速並轟擊靶材，濺射出原子或分子，最終沉積在基材上，完成鍍膜。

問：請介紹一下公司的技術服務業務
答：公司技術服務主要係爲晶圓廠提供等離子體射頻電源系統原位替換及維修服務。等離子體射頻電源系統在晶圓廠使用過程中會出現老化、故障等問題，需要及時進行更換或維修。國內主要晶圓廠被列入實體清單后，無法繼續向原海外設備供應商採購備件或申請維修服務，公司為此承接了進口等離子體射頻電源系統的原位替換及維修業務。

問：請介紹一下公司的核心技術及衡量公司主營產品技術水平的關鍵指標
答：歷經十余年的持續研發、不斷創新和積累，針對半導體設備尤其是先進製程中對高速、精準、穩定性能的嚴苛需求及技術瓶頸，公司構建了以‘基石技術+產品化支撐技術’為核心的技術架構，並基於‘等離子體電源全數字測量技術’、‘等離子體電源全數字環路控制技術’及‘等離子體電源高效功放技術’三大基石技術，並衍生出八大產品化支撐技術。衡量公司主營產品或核心技術的關鍵指標包括但不限於調諧時間、調諧頻率重複性、功率精度、開啟響應時間、關閉響應時間、功率重複性、脈衝上升時間、脈衝下降時間等。

問：請介紹一下公司的研發團隊
答：截至2025年年底，公司研發人員共計158人，佔公司總人數比例為39.01%。公司匯聚了一支在等離子體射頻電源系統及半導體核心零部件行業擁有二十年以上從業經驗的研發骨干團隊，擁有深厚背景和豐富經驗，對半導體技術的發展脈絡、市場需求變化以及行業趨勢有着深刻的認識和精準的把握。團隊成員不僅在技術研發方面擁有卓越的能力和敏鋭的洞察力，而且在運營管理和市場拓展等方面有着長期的從業經歷，對半導體行業具有深刻理解和具有豐富的實踐經驗，是公司持續創新和保持競爭力的重要基石。

問：請介紹一下公司目前的產能情況
答：公司產能已連續三年超負荷運行，2025年公司產能利用率達98.51%。公司將通過多個措施提升產能，包括積極推進子公司恆運昌真空技術（沈陽）有限公司的建設與正式運營，助力其實現從試產到量產的跨越；同時推進深圳產能建設，加速產能落地；公司也將逐步推進半導體與真空裝備核心零部件智能化生產運營基地項目的建設，這些都將有助於后續產能的釋放，為公司產能持續提升奠定基礎。

問：請公司目前是否有股權激勵計劃？
答：公司已通過深圳市恆運昌投資中心（有限合夥）和深圳市恆運昌投資發展中心（有限合夥）作為員工持股平臺實行了員工持股計劃。同時，公司部分核心員工也參與了公司戰略配售。未來公司若有相關激勵計劃或安排，公司將按照監管要求，及時履行信息披露義務，敬請以公司在官方渠道發佈的公告爲準。

恆運昌（688785）主營業務：等離子體射頻電源系統、等離子體激發裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發、生產、銷售及技術服務,並引進真空獲得和流體控制等相關的核心零部件,圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。

恆運昌2026年一季報顯示，一季度公司主營收入1.24億元，同比下降12.08%；歸母淨利潤1758.28萬元，同比下降49.81%；扣非淨利潤1693.05萬元，同比下降44.31%；負債率5.66%，財務費用-42.29萬元，毛利率52.14%。

該股最近90天內共有1家機構給出評級，增持評級1家。

融資融券數據顯示該股近3個月融資淨流入7090.15萬，融資余額增加；融券淨流入0.0，融券余額增加。

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