Lam Research和JSR Corporation宣佈達成交叉許可協議以推進半導體制造

Lam Research Corporation宣佈與JSR Corporation及其子公司Inpria Corporation建立戰略合作伙伴關係，以推進半導體制造技術。該合作的重點是下一代圖案化，包括用於極紫外（UVA）印刷的干抗蝕劑技術，以及用於原子層蝕刻和沉積工藝的先進材料的開發。這項非排他性交叉許可協議旨在將JSR/Inpria的圖案化抗蝕劑和薄膜與Lam的蝕刻和干抗蝕劑沉積技術集成在一起。該合作伙伴關係還將探索金屬氧化物抗蝕劑、高NA極紫外圖案化和先進薄膜的創新，以支持人工智能時代的芯片製造商。此外，利用JSR收購Yamanaka Hutech Corporation的機會，兩家公司計劃研究用於增強原子層沉積和蝕刻解決方案的新前體材料和工藝。