中微公司申请MOCVD设备相关专利，采集拼接图像判断自转，统一基片成膜速率

6月23日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种MOCVD设备及卫星盘自转测量方法”的专利。申请公布号为CN122235676A，申请号为CN202411867389.X，申请公布日期为2026年6月19日，申请日期为2024年12月17日，发明人李肖辰、郭春磊，专利代理机构上海元好知识产权代理有限公司，专利代理师汤恩洋、张静洁，分类号C23C16/18、G01P3/38、C23C16/52、C23C16/458。

专利摘要显示，本发明公开了一种MOCVD设备及卫星盘自转测量方法，MOCVD设备包括内设有行星盘反应腔、图像采集装置、图像采集控制模块和图像处理模块，行星盘上设有卫星盘，卫星盘上设有至少一个标记；图像采集装置用于采集标记上的局部图像；图像采集控制模块控制图像采集装置采集图像；图像处理模块接收图像采集装置连续采集的多帧局部图像并拼接为连续图像以判断卫星盘的自转状态。本发明的MOCVD设备及卫星盘自转测量方法，通过设置图像采集装置连续采集局部图像，并对局部图像进行拼接以判断行星盘是否自转，并针对各行星盘的自转情况进行调整，实现对各行星盘自转速率的调整，使得各行星盘上承载的基片的自转速率的统一，提高各基片成膜的均一性。

天眼查数据显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司成立日期2004年5月31日，法定代表人尹志尧，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本62614.5307万人民币，实缴资本62691.781万人民币，注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号。中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目87次，财产线索方面有商标信息114条，专利信息1708条，拥有行政许可88个。

中微半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

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