ACN研究中心将其首个等离子体增强化学蒸气沉积碳氮硅系统运送给未公开的半导体生产商

ACM研究公司（“ACN”）（纳斯达克：ACMR）是半导体和先进封装应用的领先芯片和面板处理解决方案供应商，今天宣布已向一家领先的半导体制造商交付了其首个等离子体增强化学蒸气沉积（BEP）碳氮硅（SiCN）系统。作为ASM Planetary系列Saturn系列的最新成员，该系统符合ASM林根实验室客户定义的工艺规范，并已运至客户现场进行验证。该系统旨在满足先进的后台（BAOL）要求，还使ASM能够服务于先进包装应用中不断增长的机会。