随着半导体技术变得更加复杂，布鲁克加快芯片研究工具，扩展NanoIR技术以支持下一代芯片开发

布鲁克公司（纳斯达克股票代码：BRKR）今天宣布加速开发其光热AFM-IR光谱能力，以应对随着设备架构不断缩小和系统变得日益复杂而半导体行业面临的研究挑战。作为半导体行业纳米级红外（nanoIR）光谱技术的最大供应商，布鲁克正在将AFM-IR的使用范围从其在纳米级污染分析中的既定角色扩展到支撑下一代半导体技术的研究领域。其中包括极紫外光致抗蚀剂图案化和开发、用于晶体管缩放的先进材料以及用于新兴传感和功能器件应用的纳米级位置选择性表面功能化。