中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目正式开工

中国成都，2025年10月17日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称"中微公司"，股票代码：688012）在成都高新区隆重举行开工仪式，宣布其成都研发及生产基地暨西南总部项目正式启动建设。该基地的落地，将为中微公司进一步提升核心研发实力与规模化生产能力提供有力保障，助力其持续巩固在全球高端半导体设备领域的领先优势。

开工仪式上，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示，数码产业是现代工业和国民经济发展的核心引擎，而微观加工设备和关键材料及零部件是整个数码产业的基石。中微公司成立21年以来，始终专注高端微观加工设备的研发与制造。成都研发及生产基地专注薄膜沉积设备等半导体高端制造设备，是公司实现发展蓝图的重要战略落子，将为持续推进技术突破、赋能产业升级提供关键支撑。公司将不断加快新设备的研发速度，在今后的五到十年，通过有机生长和外延扩展，逐步覆盖集成电路关键领域50%至60%设备，力争尽早成为高端设备平台化公司，在规模上和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司。

中微公司董事长兼总经理尹志尧博士致辞

中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目一期占地约50亩，建筑面积约7万平方米，将发展成为集研发、制造于一体的综合性基地，计划于2027年建成投产，持续提升公司在薄膜沉积设备等高端半导体设备领域的研发制造能力。作为中微公司关键战略布局，随着成都研发及生产基地建设的启动，公司未来厂房总面积将达到75万平方米，为持续增强产品研发与制造能力提供保障，也为未来持续高速、稳定、健康、安全的高质量发展夯实基础。

中微公司成都研发及生产基地效果图

中微公司集团副总裁、中微半导体设备（四川）有限公司总经理陶珩在致辞中深入阐述了成都研发及生产基地的战略定位与产业责任。他指出，成都项目肩负技术攻坚、产业补齐、集群引领三大核心使命。我们将聚焦薄膜沉积设备等领域，全力研发化学气相沉积、原子层沉积等关键设备技术，补齐西南地区在晶圆加工先进设备制造领域的短板，并积极推动上下游合作伙伴共同发展，助力打造半导体高端装备产业链集群，为西南地区半导体产业链升级提供坚实支撑。

中微公司集团副总裁、中微半导体设备（四川）有限公司

总经理陶珩致辞

中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等微观加工所需的高端关键设备。公司在过去14年保持营业收入年均增长大于35%。在2024年比2023年销售增长44.7%的基础上，2025年上半年营业收入继续保持高速增长，同比增长43.9%，达到49.61亿元。公司持续加大研发力度，2025年上半年研发投入达到14.92亿元，同比增长约53.70%，研发投入占公司营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。公司目前在研项目涵盖六大类设备、二十多款新产品的开发；在化学薄膜设备领域，公司正不断加大研发投入和产品布局，已成功实现六种薄膜沉积设备的高效研发与批量交付，在关键性能上已达到世界先进水平。

开工仪式现场

中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目的正式开工，标志着公司在西南地区的战略布局从规划迈入实质性落地阶段。项目建成后，既为公司持续提升研发创新与产能规模提供坚实保障，也将为区域经济发展注入强劲新动能，并进一步推动西南地区半导体产业链升级，为半导体产业高质量发展贡献重要力量。

中微公司成都研发及生产基地效果图

攀登勇者，志在巅峰。中微公司将瞄准“打造世界级装备企业”的战略目标，不断加大研发力度，持续夯实公司在高端微观加工设备领域的核心竞争力，秉承“五个十大”的企业文化，即“产品开发十大原则”、“战略销售十大准则”、“营运管理十大章法”、“精神文化十大作风”和“领导能力十大要点”，坚持三维立体发展战略，坚持有机生长和外延扩展的策略，实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展，力争尽早成为高端设备平台化公司，在规模上和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司！

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类、包括二十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI设备，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。此外，中微公司已全面布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备。这些设备都是制造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。

(中微公司)