Lam Research与JSR Corporation/Inpria Corporation达成交叉许可合作协议，以推进半导体制造

公司将专注于前沿芯片的图案化，包括干抗蚀剂极紫外曝光和下一代材料

加州弗里蒙特东京，9月2025年15日/美通社/ -- Lam Research Corp.（纳斯达克：LRCX）是半导体制造设备和服务领域的全球领导者，JSR Corporation是一家专注于材料创新解决方案的领先技术公司，也是金属氧化物光致抗蚀剂解决方案提供商Inpria Corporation的母公司，今天宣布，Lam和JSR/Inpria已达成一项非独家交叉许可和合作协议，以推进领先的半导体制造。该合作伙伴关系旨在加速该行业向下一代图案化的过渡，包括用于极紫外（UVA）印刷的干抗蚀剂技术，并推进用于原子层蚀刻和沉积工艺的下一代材料的开发。

该协议利用了JSR集团的创新半导体材料（包括金属氧化物解决方案）以及Lam在沉积、蚀刻和极紫外图案化方面的深厚能力，包括Aether®、Lam的开创性干抗蚀剂设备和工艺技术，该技术降低了创建人工智能（AI）和高性能计算（IPC）芯片所需复杂图案的成本和复杂性。

两家公司将合作将JSR/Inpria的图案化抗蚀剂和薄膜与Lam的蚀刻和干抗蚀剂沉积技术集成在一起。Lam和JSR/Inpria还将共同努力，在多个领域扩大创新，以支持芯片制造商在人工智能时代的规模，包括与金属氧化物抗蚀剂、用于先进节点的高NA EUV图案化以及用于下一代图案化的其他先进薄膜相关的研发。此外，利用JSR最近收购的Yamanaka Hutech Corporation，Lam和JSR计划探索用于先进原子层沉积和蚀刻解决方案的新前体材料和工艺。

“通过丰富补充Lam的成熟原子层沉积和蚀刻能力与JSR在先进图案化材料方面的深厚专业知识，这种合作使我们能够在半导体复杂性不断上升的时候加速创新，”首席技术和可持续发展官Vahid Vahedi说。“这包括推动新型低NA和高NA极紫外图案化材料和金属氧化物抗蚀剂，并提供更好的使用以太干抗蚀剂技术的机会。"

JSR Corporation高级官员Toru Kimura表示：“在JSR，我们致力于开发尖端材料，以实现客户最严格的技术路线图。”“通过将JSR和Inpria的材料专业知识与Lam Research在沉积、蚀刻和干抗蚀剂技术方面的优势相结合，我们的目标是加速推出极紫外光印刷解决方案（包括高NA），并支持行业在新的人工智能时代有效地扩展。"

Lam和Inpria还同意驳回特拉华州地方法院Inpria诉Lam Research诉讼（案件1：22 cv 01359）以及所有相关各方之间审查（IPR）程序中针对彼此的所有索赔。

关于Lam Research Lam Research Corporation是一家为半导体行业提供创新芯片制造设备和服务的全球供应商。Lam的设备和服务使客户能够制造更小、性能更好的设备。事实上，今天，几乎所有先进的芯片都是用Lam技术制造的。我们将卓越的系统工程、技术领先地位和强大的价值观文化与对客户坚定不移的承诺相结合。Lam Research（纳斯达克股票代码：LRCX）是一家财富500强®公司，总部位于加利福尼亚州弗里蒙特，业务遍及全球。请访问www.lamresearch.com了解更多信息。

关于JSR Corporation JSR Corporation是一家开发尖端材料的全球科技公司。我们的电子材料业务为先进逻辑和存储器提供广泛的半导体材料，包括光致抗蚀剂和辅助材料、化学机械抛光浆等工艺材料、清洁溶液、包装材料和前体。JSR电子材料部门的集团公司包括Inpria Corporation（于2021年收购）和Yamanaka Hutech（于2024年8月收购），生产高纯度化学沉积/原子层沉积前体。JSR提供具有附加功能的高质量材料，推动半导体市场的创新并实现客户突破。请访问www.jsr.co.jp。

关于前瞻性陈述的注意事项：本新闻稿中发表的不符合历史事实的陈述属于前瞻性陈述，并受1995年《私人证券诉讼改革法案》制定的安全港条款的约束。这些前瞻性陈述基于Lam和JSR的当前预期、各自管理层的信念以及Lam和JSR做出的某些假设，所有这些都可能发生变化。前瞻性陈述通常可以通过诸如“可能”、“计划”、”相信”、“将”、”可能“、”如果”、类似的表达以及这些词的变体或否定词来识别。此类前瞻性声明的示例包括但不限于本新闻稿中有关以下内容的声明：（i）Lam和JSR之间的合作，（ii）Lam和JSR对交叉许可和合作协议的预期，（iii）行业和趋势以及未来技术要求，（iv）Lam和JSR产品和技术的能力，及（v）撤销诉讼。有许多重要因素可能导致实际结果或事件与这些前瞻性陈述所示的结果或事件存在重大差异，包括：Lam和JSR可能无法获得交叉许可和合作协议的预期利益;可能无法获得驳回诉讼所需的法院批准，或在未预期的条件下获得;行业和整体经济的商业、经济、政治和/或监管状况可能会恶化或变化; Lam和JSR的客户和竞争对手的行为可能与Lam和JSR的预期不一致;贸易法规、出口管制、关税、贸易争端和其他地缘政治紧张局势可能会抑制Lam和JSR销售其产品的能力;以及林向美国证券交易委员会提交或提供的文件中描述的其他风险和不确定性，特别包括林截至2025年6月29日财年的10-K表格年度报告中描述的风险因素。这些不确定性和变化可能会严重影响前瞻性陈述，并导致实际结果与预期发生重大差异。林和JSR没有义务更新本新闻稿中的信息或声明。

* 编者注：本新闻稿于太平洋时间2025年9月15日下午5点/日本标准时间2025年9月16日上午9点发布

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JSR Corporation联系人：川岛由纪电子材料事业战略部电话：+81-3-6218-3500电子邮件：litho_semi@jsr.co.jp

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来源：Lam Research Corporation; JSR Corporation