中标超千万元！8月刻蚀设备采购市场活跃，北方华创或成最大赢家

摘要：8.1-8.29日，国内多家科研机构公布刻蚀设备采购中标结果，总金额超千万元，北方华创、矢量科学、SENTECH等企业中标，反映半导体设备需求增长及市场竞争格局。

8.1-8.29日，国内多家科研机构与实验室刻蚀设备采购项目中标结果陆续公布，涉及ICP电感耦合等离子体刻蚀机、低损伤刻蚀设备等多类高端工艺装备，总金额超千万元，反映出国内微纳加工与半导体领域持续增强的设备需求。

其中，中国科学院上海技术物理研究所采购的“低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备”由北方华创中标，型号HSE M200，金额达366.6万元，北方华创另一套GSE C200型号ICP刻蚀设备也成功中标松山湖材料实验室，金额205万元，显示出其在刻蚀设备市场的强劲竞争力。

南京大学采购的ICP刻蚀机由矢量科学（Vector Science）中标，型号V-ICP100S，成交金额148.9万元。此外，SENTECH公司亦凭借SJ 500型号感应耦合等离子体刻蚀机中标某单位项目，金额434.8万元，体现国外品牌在部分高端市场仍占有一席之地。