半导体装备关键零部件自主可控技术交流研讨会在京举行

（来源：AGV网）

2025年8月28日下午，由和利时科技集团有限公司（以下简称：和利时集团）与北京集成电路学会联合主办的“半导体装备关键零部件自主可控技术交流研讨会”在和利时北京总部基地举行。来自半导体产业链的专家学者、企业代表齐聚一堂，围绕核心技术突破、装备关键零部件的自主可控与产业协同发展等议题展开深入交流。

图/北京集成电路学会秘书长陈小男

研讨会首先由北京集成电路学会秘书长陈小男致辞，他对和利时积极主办本次对接研讨会表示感谢，同时表示学会将持续搭建高效沟通桥梁，助力企业打破信息壁垒，实现产业协同发展。

图/和利时集团联席总裁方垒

和利时集团联席总裁方垒随即发表欢迎致辞，代表和利时感谢北京市集成电路重大办、北京集成电路学会搭建的沟通平台，并向出席今天会议的各位领导、专家、同仁表示感谢。

图/和利时集团副总裁史洪源

随后，和利时集团副总裁史洪源发表演讲，回顾了和利时自主创新之路，并表示和利时愿意加大投入，参与我国半导体自主可控技术生态的建设！力争将半导体行业打造为和利时的第三张名片。

在参观和利时智能体验中心过程中，与会嘉宾们不仅深入了解了和利时在智能装备与数字化升级方面的整体实践，还近距离观摩了和利时为半导体行业打造的PLC、伺服驱动器等核心产品及定制化的整体解决方案，展现了和利时在半导体设备自主可控领域的技术能力。

突破创新，和利时助力半导体行业“芯”发展

和利时集团 副总工程师

张玉波

在专题报告环节，与会专家围绕半导体关键技术创新与产业应用展开深入分享。和利时集团副总工程师张玉波率先登台，系统介绍了和利时如何依托先进的控制系统与智能化解决方案，赋能半导体“芯”产业升级，为产业链注入自主可控的“智能底座”。

半导体分子泵国产化进展

北京中科科仪股份有限公司 产品技术专家

苏子慕

北京中科科仪股份有限公司产品技术专家苏子慕聚焦半导体核心装备——分子泵，详细分享了国产化研发的突破性进展，展现了我国在高端真空设备领域逐步实现替代与超越的信心与实力。

和利时智能工厂助力智能装备升级和高质量发展

和利时集团FA业务 副总经理

赵赫男

和利时集团FA业务副总经理赵赫男则从智能制造视角出发，深入剖析智能工厂在推动装备迭代、提升生产效率与保障质量一致性方面的关键作用，勾勒出“未来工厂”在半导体高端制造中的广阔图景。

关键零部件自主可控应用情况

北方华创微电子装备有限公司技术研究院副院长兼CTO

李东三

压轴分享来自北方华创微电子装备有限公司技术研究院副院长兼CTO李东三。他结合企业实践，从真实应用场景切入，生动呈现了关键零部件在国产化替代进程中的技术成果与巨大潜力，为实现全产业链自主可控提供了有力支撑。

图/和利时集团FA业务总经理高山

本次研讨会由和利时集团FA业务负责人高山主持。在互动交流环节，各方围绕技术瓶颈、产业链协同、标准建设等热点问题展开讨论，现场气氛热烈。

本次研讨会有效促进了产业链上下游的技术对接与协同共识，进一步坚定了携手突破关键核心技术“卡脖子”难题的信心。随着国产化进程不断提速，和利时愿与半导体行业优秀企业携手同行，汇聚创新合力，共同为我国半导体产业的高质量发展注入源源不断的创新动力。