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国林科技：投资者询问3nm芯片清洗问题，董秘请参考相关回复

2025-08-25 08:48

国林科技(300786.SZ) 0

投资者提问：

对3nm芯片制程而言，臭氧水清洗是比传统湿法rca清洗更好吗？是因为臭氧水清洗力更强，对晶圆的伤害越小，可以显著提升良率对吗？

董秘回答(国林科技SZ300786)：

尊敬的投资者，您好。类似问题已回复，请您参考相关回复和公司公告。感谢您的关注。

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