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2025-08-20 17:04
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投资者提问:
同飞股份的液冷技术在国产光刻机、刻蚀机等核心半导体设备中的应用情况如何?公司的温控技术如何满足半导体制造设备的高精度温控需求?
董秘回答(同飞股份SZ300990):
尊敬的投资者您好,公司半导体温控产品应用情况请以公司在指定信息披露媒体披露的定期报告为准,公司凭借多年工业温控行业经验,产品种类覆盖半导体制造工艺流程中严苛的温控需求,包含氟化液为介质的制冷机组、控温±0.02℃的高精度制冷机组和耐温800℃高效换热器等先进的半导体行业用温控设备。感谢您的关注。