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2025-08-20 17:07
投资者提问:
同飞股份的氟化液制冷机组精度达到±0.02°的超高精度温控,这一技术指标在半导体设备温控领域有何重要意义?公司是如何实现这一高精度控制的?
董秘回答(同飞股份SZ300990):
尊敬的投资者您好,公司采用分段PID控制结合电热补偿的技术方案,实现高精度温控,感谢您的关注。