上海新阳：开发研磨液产品可覆盖14nm及以上技术节点

投资者提问：

请问公司是否有抛光液产品？如没有，后续是否考虑在此方向布局

董秘回答(上海新阳（维权）SZ300236)：

尊敬的投资者：你好！公司开发的晶圆制造用化学机械研磨液主要包括适用于浅槽隔离研磨液（STI Slurry）、金属钨研磨液（W Slurry）、金属铜研磨液（Cu Slurry）, 硅氧化层研磨液（Oxide Slurry），多晶硅层研磨液（Poly Slurry）等系列产品，可覆盖 14nm 及以上技术节点。