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国林科技:磁悬浮分子泵在半导体前道的关键作用及研发合作情况

2025-05-13 16:38

投资者提问:

磁悬浮分子泵是半导体前道关键零部件,不光是光刻机要用,刻蚀机、离子注入、薄膜沉积都要用。请公司详细介绍一下公司目前与其他企业共同参与研发以及编制标准的超纯磁悬浮泵的技术原理以及作用?不要再回应说请看微信公众号之类的。

董秘回答(国林科技SZ300786):

尊敬的投资者,您好。公司暂未掌握磁悬浮技术。感谢您的关注。

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