Lam Research捐赠领先的蚀刻系统以加速加州大学伯克利分校的纳米纤维研发

加利福尼亚州弗雷蒙特2025年4月16日/美通社/ -- Lam Research Corp.（纳斯达克股票代码：LRCX）今天宣布将其创新的多室半导体蚀刻系统捐赠给加州大学伯克利分校的Marvell纳米芯片实验室，以推进下一代芯片技术的研发（R & D）。通过Lam的捐赠，一线研究人员现在可以使用最先进的蚀刻系统来制造纳米级半导体器件，包括Specialty Technology，这些器件需要支持广泛的应用--从消费和工业电子到人工智能（AI）和量子计算硬件。

Berkeley Marvell NanoLab是一个共享研究中心，为跨部门的主要研究人员以及数百名学术和工业研究人员提供通常仅在现代工厂设施中发现的微制造和纳米制造技术。Lam的最新贡献建立在公司与加州大学伯克利分校长期合作的基础上，以扩大纳米科学和工程的研究和教育活动，以加快半导体制造的创新步伐。

“我们相信，纳米材料行业的合作对于推动新一代专业技术所需的纳米材料进步至关重要，”Lam Research首席技术和可持续发展官Vahid Vahedi说。“林的捐赠将使加州大学伯克利分校的NanoLab研究人员能够直接与经过行业验证的半导体制造系统合作，努力加速创新并开发新的、新颖的工艺。"

该系统在Lam 2300®平台上结合了Lam的Kiyo®导体和金属蚀刻、Flex®介电蚀刻以及最先进的Syndion® GP深度反应离子蚀刻室。它能够蚀刻制造下一代半导体器件所需的广泛材料，并推进光电子学和光电子学、传感器和射频（RF）解决方案等专业技术应用。

除了Lam的捐赠，该公司与加州大学伯克利分校的持续合作包括资助工程学院的基础研究。Lam的蚀刻技术将使集成光学解决方案（如开关、波导、电光调制器和光纤耦合技术）的新制造工艺中的寻路范围扩大。这些光学元件是光子集成电路和光学互连发展的关键组成部分，这些解决方案有望成为包括光通信、先进人工智能硬件、数据中心基础设施和量子信息处理在内的应用的关键推动因素。

加州大学伯克利分校工程学院院长Tsu-Jae King Liu表示：“我们感谢Lam Research多年来为加州大学伯克利分校Marvell NanoLab做出的许多贡献，以支持纳米织物技术的研究和创新。”“林的最新捐赠使我们的研究人员和学生能够获得在最复杂的半导体制造设施之外很少获得的芯片处理能力。我期待看到Lam的先进蚀刻系统在未来几年为下一代芯片实现新的原子级创新。"

作为伯克利新兴技术研究（BETR）中心的创始行业成员之一，Lam继续支持该大学的半导体研发，该大学拥有一位半导体加工研究杰出主席。

关于Lam Research Lam Research Corporation是一家为半导体行业提供创新芯片制造设备和服务的全球供应商。Lam的设备和服务使客户能够制造更小、性能更好的设备。事实上，如今，几乎所有先进芯片都是采用Lam技术构建的。我们将卓越的系统工程、技术领先地位和强大的价值观文化与对客户坚定不移的承诺相结合。Lam Research（纳斯达克股票代码：LRCX）是一家财富500强®公司，总部位于加利福尼亚州弗里蒙特，业务遍及全球。请访问www.lamresearch.com了解更多信息。

关于加州大学伯克利分校工程学院伯克利工程学院因其卓越的教育和研究而受到全球认可，一直跻身美国前三名工程学院之列，并且是总体顶级的公共工程项目。加州大学于1868年成立时，工程学科占据了突出地位，聘请了机械艺术、矿山和土木工程领域的教师。该学院目前提供17个学术项目，拥有近7，000名学生和240名正式教职员工，其中包括国家工程院72名现任和名誉教职员工。

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资料来源：Lam Research Corporation，（纳斯达克股票代码：LRCX）

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来源：林研究公司