英诺激光：高功率薄片超快激光器技术储备与EUV光源应用前景

投资者提问：

“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化” 项目启动会成功召开，由英诺激光牵头，公司在高功率薄片超快激光器技术储备怎么样，高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术，EUV光源有没有可能应用到国产光刻机

董秘回答(英诺激光SZ301021)：

尊敬的投资者，您好！作为国内固体和超快激光器龙头企业之一，公司持续打造激光器的领先优势，始终致力于布局新一代激光器技术，围绕短脉冲、短波长和高功率等方向开发新型激光器。此次，由公司牵头的该项目是基于上述规划的阶段性进展之一。 激光器是公司的“立身之本”，也是提高激光技术渗透率的“能力之要”。感谢您的关注！