中瓷电子董秘回复：公司已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系

中瓷电子(003031)09月13日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。

投资者：查询百度百科，静电卡盘主要应用于半导体光刻机、CVD、PVD等设备，公司互动平台上表示静电卡盘已实现量产。请问公司目前静电卡盘业务是否已包括上述相关领域，量产后每月产量和销售金额可达到多少，毛利率是否超过50%？该生产技术，公司是否已完全实现国产化自主开发和生产，相比日本等国外企业产品有何技术优势，。公司目前是否与北方华创、上海微电子等公司有合作研发或生产，将公司产品用于光刻机成套设备？

中瓷电子董秘：您好，公司已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台，开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，实现了关键零部件的国产化，已批量应用于国产半导体关键设备中。出于商业保护和与客户协议的约定，公司不方便透露具体客户名称，敬请理解，谢谢您的关心。

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