至纯科技获得发明专利授权：“一种晶圆检测运输托架及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆检测运输托架及方法”，专利申请号为CN202211576065.1，授权日为2026年4月17日。

专利摘要：本发明涉及一种晶圆检测运输托架及方法，包括底板、安装在底板上方两侧的U型托齿、安装在底板上方中部的底部托齿；在两侧的U型托齿之间和底部托齿的上方共同形成晶圆夹持空间；晶圆夹持空间的一侧或两侧设有用以检测晶圆的传感器，传感器与晶圆夹持空间内的晶圆一一对应；传感器包括信号发射端和信号接收端，信号发射端和信号接收端分别设置在晶圆夹持空间内的晶圆的两侧，信号发射端朝对应的信号接收端发射信号，信号接收端接收来自对应的信号发射端发射的信号；传感器连接有用以将传感器信号进行处理和传输的通讯模块。通过本发明实现晶圆运输过程中实时检测晶圆的状态，可实现整合半导体湿法设备工艺，减少节拍时间，提高吞吐量。

今年以来至纯科技新获得专利授权4个，较去年同期减少了60%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目77次；财产线索方面有商标信息105条，专利信息336条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可54个。

数据来源：天眼查APP

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