中科飞测获得发明专利授权：“一种光路装置、光学检测方法以及检测设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光路装置、光学检测方法以及检测设备”，专利申请号为CN202511960845.X，授权日为2026年3月31日。

专利摘要：一种光路装置、光学检测方法以及检测设备，该光路装置包括侧向入射光路组件以及透镜组件，该侧向入射光路组件包括检测光源以及扩束镜组，检测光源提供入射光束，扩束镜组用于对入射光束在第一方向展开和整形形成平行的第一方向检测光束以及对在第二方向展开和整形形成非平行的第二方向检测光束；该第一方向检测光束通过透镜组件出射至待测物的待测表面形成光斑；第二方向检测光束非平行入射至透镜组件表面并具有光束尺寸，第二方向检测光束从透镜组件出射至待测表面并形成上述光斑。本申请提供了一种避免在透镜组件中心开孔的检测光路，可有效降低镜片损伤风险实现更可靠、高效的晶圆缺陷检测。

今年以来中科飞测新获得专利授权16个，较去年同期减少了11.11%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增37.79%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目273次；财产线索方面有商标信息360条，专利信息1068条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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