Lam Research和JSR Corporation宣布达成交叉许可协议以推进半导体制造

Lam Research Corporation宣布与JSR Corporation及其子公司Inpria Corporation建立战略合作伙伴关系，以推进半导体制造技术。该合作的重点是下一代图案化，包括用于极紫外（UVA）印刷的干抗蚀剂技术，以及用于原子层蚀刻和沉积工艺的先进材料的开发。这项非排他性交叉许可协议旨在将JSR/Inpria的图案化抗蚀剂和薄膜与Lam的蚀刻和干抗蚀剂沉积技术集成在一起。该合作伙伴关系还将探索金属氧化物抗蚀剂、高NA极紫外图案化和先进薄膜的创新，以支持人工智能时代的芯片制造商。此外，利用JSR收购Yamanaka Hutech Corporation的机会，两家公司计划研究用于增强原子层沉积和蚀刻解决方案的新前体材料和工艺。